[实用新型]具备双副炉室结构的单晶炉有效
申请号: | 201120233866.9 | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN202202012U | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 朱亮;王魏;孙明;曹建伟;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具备 双副炉室 结构 单晶炉 | ||
1.具备双副炉室结构的单晶炉,该单晶炉有一个主炉室,主炉室上部装配有一个副炉室;其特征在于,该单晶炉还另外配置一个副炉室,两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸,各副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上;各副炉室的下端设置一个副炉室闸阀,副炉室闸阀内设置活动的阀板;所述主炉室的上端设有一个隔离阀座,隔离阀座内部设置活动的主炉室隔离阀板,隔离阀座上侧与两个副炉室闸阀相互匹配。
2.根据权利要求1所述的具备双副炉室结构的单晶炉,其特征在于,所述两个副炉室旋转机构分别安装于左右两个支撑柱上,或是安装于同一个支撑柱上。
3.根据权利要求1所述的具备双副炉室结构的单晶炉,其特征在于,所述支撑柱位于主炉室的外侧。
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