[实用新型]具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场

权利要求书

1.具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，包括用于排出废气的排气管道；其特征在于，排气管道有至少3个，且在热场底部的圆周上均匀分布；每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。

2.根据权利要求1所述的具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，其特征在于，所述排气管道有4个。

3.根据权利要求1所述的具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，其特征在于，在直拉式硅单晶炉热场的下保温盖中间的圆孔内，设置用于引导保护气体的导流筒；导流筒与下保温盖之间呈环形紧密连接。

4.根据权利要求1所述的具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，其特征在于，直拉式硅单晶炉热场的下保温盖完全被热场的保温材料包裹在热场以内。