[实用新型]一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备有效

申请号：	201120234915.0	申请日：	2011-07-05
公开（公告）号：	CN202148346U	公开（公告）日：	2012-02-22
发明（设计）人：	刘洁雅	申请（专利权）人：	北京北仪创新真空技术有限责任公司
主分类号：	C23C14/00	分类号：	C23C14/00
代理公司：	北京凯特来知识产权代理有限公司 11260	代理人：	郑立明;赵镇勇
地址：	102600 北京市大兴区***	国省代码：	北京;11
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	一种真空镀膜设备真空
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.一种真空镀膜设备的真空室，包括：加热源(1)、支柱(4)、多组传输机构与多块隔板(10)；每组传输机构包括传动轴(9)、两个轴承座(8)与多个滚轮(5)，传动轴(9)通过两个轴承座(8)安装于支柱(4)上，传动轴(9)上间隔固定滚轮(5)，滚轮(5)上还固定有橡胶圈(6)；隔板(10)通过螺钉(3)固定于支柱(4)上，隔板(10)上对应橡胶圈(6)的位置开有方孔(11)；其特征在于，

所述的隔板(10)上在两传输机构间的位置设有凹槽(12)。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的真空室，其特征在于，所述的两块隔板(10)的对接接缝的边缘设有向下弯的折边(13)。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备的真空室，其特征在于，所述的凹槽(12)的形状为半圆形、U型或V型。

4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备的真空室，其特征在于，所述的相邻两组的传输机构的滚轮(5)间隔设置。

5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备的真空室，其特征在于，所述的每组传输机构的滚轮(5)为4个或5个。

6.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至5任意一项所述的真空室。

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北仪创新真空技术有限责任公司，未经北京北仪创新真空技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120234915.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。