[实用新型]一种往复式磁控柱塞气泵及多功能微量反应气体测试仪

权利要求书

1.一种往复式磁控柱塞气泵，包括圆柱形玻璃壳体(2)和气体压缩室(3)，所述壳体(2)一端设置有出气接口(1)，另一端设有进气接口(15)，进气接口与壳体内的进气门座(13)相连接，进气门座(13)内部设有与其线密封的进气门阀(14)，进气门座上部设有进气门限位喉口(12)，该进气门限位喉口(12)上部设有下止点塔式缓冲弹簧(10)，下止点塔式缓冲弹簧(10)上部设有柱塞(9)，所述柱塞内设有出气门座(7)，出气门座(7)内设有与其线密封的出气门阀(5)，在出气门阀(5)的上部设有限位喉口(11)，出气门阀(5)与出气门座(7)之间形成进气导管(8)，出气门座外套设有衔铁(18)，衔铁(18)密封在柱塞(9)与出气门座(7)之间，柱塞(9)上部设有上止点塔式缓冲弹簧(4)；圆柱形壳体(2)外设有由线圈骨架(6)固定的电磁线圈(25)，衔铁(18)与电磁线圈配合，通过磁力线圈感应推力及柱塞自重使柱塞上下运动，以实现柱塞上下行程往复做功。

2.根据权利要求1所述的往复式磁控柱塞气泵，其特征在于，所述限位喉口为均匀设置在进气门座(5)或出气门座(7)的侧壁上的凸台。

3.根据权利要求1或2所述的往复式磁控柱塞气泵，其特征在于，所述进气门阀和出气门阀为半球体和圆锥体的组合。

4.一种包括权利要求1-3任一项所述的往复式磁控柱塞气泵的多功能微量反应气体测试仪，包括支架、真空部、反应冷凝部、气体混合部、在线采样部、精密压力表、连接各部分的循环气路连接管和设于循环气路连接管上的阀门；气体混合部、在线采样部通过循环气路连接管依次串联，真空部通过循环气体管路并接在反应冷凝部与在线采样部之间，其特征在于：精密压力表(16)通过循环气体管路并接在在线采样部与真空部之间，气体混合部为所述的往复式磁控柱塞气泵(22)。 

5.根据权利要求4所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，所述的真空部包括缓冲器(17)、连接在该缓冲器(17)下部的冷阱(19)以及与冷阱(19)并接的用于连接真空泵的循环气路连接管。

6.根据权利要求5所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，所述的用于连接真空泵的循环气路连接管上设有阀门。

7.根据权利要求6所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，所述的反应冷凝部包括反应器(26)以及与反应器(26)相连的冷凝器；冷凝器包括第一冷凝管(23)和第二冷凝管(24)，第一冷凝管(23)的另一端与往复式磁控柱塞气泵(22)串联，第二冷凝管的另一端与在线采样部串联。

8.根据权利要求7所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，所述的在线采样部包括由相互联通构成回路的六通阀、四通阀和三通阀构成的在线进样器(21)，其中，六通阀分别连接缓冲器上管(27)、定量管(29)、往复式磁控柱塞气泵(22)；四通阀连接色谱仪(30)，三通阀连接缓冲器下管(28)。

9.根据权利要求8所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，还包括并联在在线采样部与反应冷凝部之间的定量储气罐(20)，所述定量储气罐(20)与在线采样部、反应冷凝器部并联的循环气路连接管上分别设有阀门。

10.根据权利要求9所述的多功能微量反应气体测试仪，其特征在于，所述支架具有可伸缩底脚(32)和横竖相间的可伸缩杆(33)，缓冲器(17)、定量储气罐(20)，第一冷凝管(23)、第二冷凝管(24)以及往复式磁控柱塞气泵通过夹具固定在可伸缩杆上。