[实用新型]真空镀膜机用工件支承架有效
| 申请号： | 201120242043.2 | 申请日： | 2011-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202187061U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 程宗文 | 申请（专利权）人： | 程宗文 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 363300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 用工 支承 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机用工件支承架，包括两平行圆环，所述两圆环之间可拆连接有工件安装杆，其特征在于：所述两平行圆环上分别设有一水平角钢，两角钢之间连接有正负电极棒，所述两电极棒之间间隔设置有靶材安装座。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用工件支承架，其特征在于：所述靶材安装座包括竖直设置在两电极棒上的螺栓杆和连接在两螺栓杆之间的电热丝，所述电热丝经蝶形螺母固定在螺栓杆上。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机用工件支承架，其特征在于：所述两平行圆环的两旁侧分别设置有滚轮。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机用工件支承架，其特征在于：各个工件安装杆的一端部分别设有链轮，该些链轮均绕设有联动链条，所述联动链条上设置有张紧小链轮和驱动轮。
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