[实用新型]单晶炉提拉旋转驱动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉装置领域，尤其是一种单晶炉提拉旋转驱动装置。

背景技术

传统的单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。传统的单晶硅炉的硅籽晶提升结构采用硬轴旋转和提拉，从而使中心轴较长，造成设备高度较大较高，且旋转提拉稳定性差，造成产品正品率低，使用制作成本高，维修麻烦。

发明内容

本实用新型针对上述技术中存在的缺点，提供一种单晶炉提拉旋转驱动装置，它具有提拉灵活的优点，克服了上述技术中存在的不足之处。

实现本实用新型目的的技术方案如下：

单晶炉提拉旋转驱动装置，它包括驱动电机，驱动电机驱动箱体内的传动机构，该传动机构包括两个转轴，第一转轴通过传动带与驱动电机连接，该第一转轴上固定有卷曲盘，卷曲盘侧面设有片状的第一齿轮，卷曲盘上卷绕有钢丝绳，第二转轴上设有配重块，该配重块周面上设有第二齿轮，第二齿轮与片状的第一齿轮啮合，钢丝绳还下端设有用于连接籽晶的连接体，所述的驱动电机为直流伺服电机。

所述的直流伺服电机为无刷直流伺服电机。

本实用新型的优点是采用无刷直流伺服电机，重量轻，出力大，响应快，速度高，惯量小，转动平滑，力矩稳定；控制复杂，容易实现智能化，其电子换相方式灵活，可以方波换相或正弦波换相；电机免维护，效率很高，运行温度低，电磁辐射很小，长寿命，可用于各种环境。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，单晶炉提拉旋转驱动装置，它包括驱动电机1，驱动电机驱动箱体6内的传动机构，该传动机构包括两个转轴，第一转轴4通过传动带与驱动电机1连接，该第一转轴4上固定有卷曲盘3，卷曲盘3侧面设有片状的第一齿轮2，卷曲盘3上卷绕有钢丝绳8，第二转轴7上设有配重块5，该配重块5周面上设有第二齿轮，第二齿轮与片状的第一齿轮啮合，钢丝绳8还下端设有用于连接籽晶的连接体9，所述的驱动电机1为直流伺服电机。

上述实施例中，直流伺服电机还可以为无刷直流伺服电机。