[实用新型]水冷式阀座

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种阀门装置，特别是一种单晶炉用密封阀门装置。

背景技术

在单晶棒的生长之前需要对单晶棒的技术参数进行理论计算，但是在实际的生产过程中存在多种多样的因素会影响单晶棒的某些技术参数。为了使得单晶棒的技术参数达到预期的工艺要求，在拉晶的过程中就需要对单晶棒的技术参数进行检测，但是由于如果将整个单晶棒取出检测单晶棒就很容易被氧化，这时只能先拉制小样，然后将小样取出对其技术参数进行检测。一方面由于单晶炉内的温度很高，另一方面由于单晶炉对密封性的要求很高，所以需要一种冷却阀门装置来确保取小样时单晶炉内的密封不受影响。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种单晶炉的冷却密封阀门装置。

为解决上述的技术问题，本实用新型的水冷式阀座包括阀门座体、阀门和开关，所述阀门座体上端与炉筒相连接，所述阀门座体下端与单晶炉相连接；所述阀门设置在阀门座体底部与单晶炉的连接处；所述阀门与设置在阀门座体侧面的开关相连接，所述开关与阀门座体转动连接；所述开关内设置有冷却装置。

所述的冷却装置为冷却水道。

所述开关与阀门座体的转动连接处贴有密封条。

采用上述结构后，开关内的冷却装置可以冷却开关因单晶炉热传导所引起的温度过高。通过开关可以调节与单晶炉连接处的阀门将小样取出，再关闭阀门，确保单晶炉的密封性。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型开关的内部放大示意图。

图3为本实用新型俯视图。

图中：1为阀门座体，2为炉筒，3为单晶炉，4为开关，5为冷却水道，6为密封条，7为阀门

具体实施方式

如图1所示的水冷式阀座包括阀门座体1、阀门7和开关4，所述阀门座体1上端与炉筒2相连接，所述阀门座体1下端与单晶炉3相连接，在取小样进行参数检测时不能直接将小样从单晶炉3中沿炉筒2拉出，因为这样单晶炉3内的晶体容易被氧化。为了确保单晶炉3的密封性，需要在单晶炉3与炉筒2之间设置阀座来控制。

如图3所示，所述阀门7设置在阀门座体1底部与单晶炉3的连接处；所述阀门7与设置在阀门座体1侧面的开关4相连接，所述开关4与阀门座体1转动连接；这样可以通过在阀门座体1外部控制开关4的旋转来达到控制阀门座体1内部阀门7的打开与闭合。

如图2所示，所述开关4内设置有冷却装置，所述的冷却装置为冷却水道5。在单晶硅棒的拉长生长过程中，单晶炉3内的温度会达到一千四百多度，这样通过热传导或者热辐射，使得开关4的温度很高，不方便对开关4进行操作。在开关4内设置冷却水道5后，在冷却水道5内通入循环冷却水，对开关4进行冷却，这样确保开关4的温度在可操作的范围之内。

所述开关4与阀门座体1的转动连接处贴有密封条6，在开关4与阀门座体1的转动连接处常常会留下缝隙，这样会影响整个装置的密封性。

开关4控制阀门7工作的过程如下：在单晶炉3中做好小样后，提拉装置将小样从单晶炉3中拉出，通过阀门7后，通过开关4控制阀门7关闭，这时提拉装置将小样从炉筒2中取出进行参数检测。检测完成后，进行参数对比，可以对单晶炉3内的单晶硅帮生长环境参数进行调整。在小样从炉筒2中取出后，将炉筒2密封，抽真空，然后可以通过开关4的旋转来控制阀门7打开，提拉装置可以伸入到单晶炉3中拉长制作单晶硅棒。

当然，开关4上可以采用其他使用的冷却装置，这样的变换均落在本实用新型保护的范围之内。