[实用新型]新型单晶炉

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备领域，特别涉及一种新型单晶炉。

背景技术

目前，直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列，用它来制作人工晶体，单晶生长速度最高，最容易实现人工控制，因此也获得了最广泛的应用。在向单晶炉的容器中添加原料时，由于容器的端口距离炉体的上表面有一定的距离，当原料落下时可能会掉到容器的外面，对单晶炉内部的环境存在影响，更可能对单晶炉里面一些器件产生影响，影响单晶炉的正常工作。

发明内容

针对上述技术问题，本实用新型在炉体内设置了一个导流环，对原料进行导向，防止原料落入容器外，影响单晶炉的正常工作。

本实用新型通过以下技术方案实现：

新型单晶炉，其包括炉底板，炉底板的上方设置有炉体，炉体上方设置有对炉体密封的炉盖，炉体内设置有一个内腔，在内腔内设置有盛放物料的容器，其特征在于：还包括一个导流环，所述的导流环的上端与炉体的上边缘连接，导流环的下端与容器端口连接。

在容器的外侧环绕设置有加热器。

所述的加热器为石墨加热器。

综上所述：本实用新型通过设置的导流环对原料进行导向，防止其落入容器外的其他地方，保证了单晶炉的正常稳定的工作，同时设置的加热器能对容器内的原料的温度进行控制，便于晶体的成长，采用石墨加热器，具有功耗低，效率高的优势。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为加热器展开示意图，

图中，1为炉底板，2为炉体，3为炉盖，4为加热器，21为内墙，22为容器，23为导流环。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。

如图1所示的新型单晶炉，其包括炉底板1，炉底板1的上方设置有炉体2，炉体2上方设置有对炉体2密封的炉盖3，炉体2内设置有一个内腔21，在内腔21内设置有盛放物料的容器22，其特征在于：还包括一个导流环23，所述的导流环23的上端与炉体2的上边缘连接，导流环23的下端与容器22端口连接。

在容器的外侧环绕设置有加热器4，所述的加热器4为石墨加热器。

综上所述：本实用新型通过设置的导流环对原料进行导向，防止其落入容器外的其他地方，保证了单晶炉的正常稳定的工作，同时设置的加热器能对容器内的原料的温度进行控制，便于晶体的成长，采用石墨加热器，具有功耗低，效率高的优势。