[实用新型]直拉硅单晶检测用测量道的制作装置

说明书

技术领域

本实用新型属于直拉硅单晶检测技术领域，尤其是涉及一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。采用直拉法生产出来的硅单晶称为直拉硅单晶。目前，单晶硅被广泛的用来制作电子元件以及大规模的集成电路，例如：二极管、三极管、可控硅、开关管、发光器件、热电转换器件、整流器、太阳能电池、大规模集成电路等。集成电路又可分为线性电路、数字电路、双极电路、未处理器、逻辑电路和记忆电路等类别。近几年来，随着光伏产业的迅猛发展，单晶硅又被用来制作太阳能电池，呈现出供不应求的局面。

但随着高科技的发展，要求电路具有很高的可靠性和稳定性，所以生产近乎完美的高质量硅单晶，是每一个材料厂家、器件厂家的共同愿望，其中高质量单晶硅需具有良好的断面电阻率均匀性、高寿命、含碳量少、微缺陷密度小、含氧量可以控制等特点。因而，制作完成直拉硅单晶的检测过程显得至关重要，而对直拉硅单晶质量进行检测时，需在硅单晶的晶体表面制作测量道。传统的测量道制作方法是用压缩空气将金刚砂喷射到需要制作测量道的硅单晶晶体表面，并相应沿硅单晶晶体纵向方向从头至尾喷一条10mm宽的测量道。但是，实际使用过程中，由于上述传统的测量道制作方法需要用到金刚砂，因而会带来极大的粉尘污染，同时使用操作不便且测量道的制作过程不易控制。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其结构简单、设计合理、使用操作简便且使用效果好，硅单晶晶体表面测量道的制作过程易控，并且不会对外界环境造成任何污染。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：包括水平固定在工作平台上且用于固定被检测硅单晶的U形槽和与U形槽相配合使用且在被检测硅单晶的晶体表面打磨测量道的打磨工具，所述被检测硅单晶为采用直拉法生产的单晶硅棒材，所述U形槽的内部结构和尺寸均与所述单晶硅棒材的结构和尺寸一致；所述打磨工具包括传动轴、固定安装在传动轴前端部的角磨片、固定安装在传动轴后部的手持式把手、安装在手持式把手内且带动传动轴进行连续转动的电动驱动机构和与所述电动驱动机构相接的供电电源，所述传动轴与所述电动驱动机构之间通过传动机构进行传动连接，所述角磨片为在传动轴带动下在被检测硅单晶的晶体表面打磨所述测量道的磨头。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述磨头为锥形磨头，且所述锥形磨头的尺寸与所述测量道的宽度一致。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述传动轴中部外侧套装有外护套，所述外护套紧固固定在手持式把手上。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述外护套通过多个紧固螺栓固定在手持式把手上。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述U形槽由两个对称布设在所述工作平台上的斜向护板组成，且两个所述斜向护板中部之间的间距小于所述单晶硅棒材的直径。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述U形槽的前后端部分别设置有对被检测硅单晶进行卡装固定以防止被检测硅单晶发生前后移动的卡装件。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述U形槽的长度与被检测硅单晶的长度相同。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：所述电动驱动机构为与供电电源相接的电动机，所述传动轴3-1通过传动机构与电动机的动力输出轴同轴连接。

上述直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征是：两个所述斜向护板中部之间的间距L＞D/2，其中D为所述单晶硅棒材的直径。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、结构简单、加工制作方便且投入成本低。

2、U形槽固定安装方便，只需将两块斜向护板平行固定在工作平台上，并确保两个斜向护板之间的间距不小于被检测硅单晶的直径且大于被检测硅单晶直径的一半即可。

3、使用操作简便且测量道的制作过程易控，实际使用时，先将被检测硅单晶放置于U形槽上，之后通供电电源并启动电动机带动角磨片旋转，与此同时，操作者通过手持式把手带动打磨工具沿被检测硅单晶的晶体表面由前至后移动，便在被检测硅单晶的晶体表面打磨出一定长度的测量道。

4、使用效果好且实用价值高，对外界环境无任何污染。