[实用新型]一种单晶炉用电极的密封装置有效
| 申请号： | 201120253674.4 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN202214453U | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 徐建军;钱荣林 | 申请（专利权）人： | 浙江荣马电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 用电 密封 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，其特征在于在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用电极的密封装置，其特征在于硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，其中与炉底盘下端面相接触的一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的本体之中，另一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的内壁处。
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