[实用新型]一种横切机裂片、吸尘机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及切割薄膜晶体管(TFT)玻璃基板的横切机技术领域，特别涉及一种用于掰断及吸附碎玻璃的横切机裂片、吸尘机构。

背景技术

TFT玻璃基板经热端的熔解、成型及退火等工序加工，形成一条连续带状玻璃板，经横向划线、裂片及吸尘等加工工艺，流入下一道制造工序加工。

从退火炉垂直向下被输送出的连续的带状TFT玻璃基板，需要横切机的随动机构同步跟随玻璃带，在随动机构上固定的垫板条及刀头进行随动划线切割，装有吸盘架的取板机器人随动吸附TFT玻璃基板，横切机完成划线后取板机器人进行裂片。由于吸盘架配有数量众多的小吸盘，相互间的距离大，作用力分散且不均匀，随动裂片过程中易造成破片现象发生，甚至干涉TFT玻璃基板厚度、应力等性能形成，也不能防止裂片产生的玻璃粉尘飘散；另外，取板机器人的操作程序调试难度较大，尤其第八代TFT玻璃基板(板幅2200mm×2400mm)，使用机器人的吸盘裂片变得更加困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种降低裂片中破片发生率的横切机裂片、吸尘机构，该机构还可以避免裂片产生的玻璃粉尘飘入退火炉。

针对上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

包括设置于横切机随动机构上的倾斜安装的汽缸以及由汽缸驱动的吸尘气腔，吸尘气腔的上端设置有硅橡胶压条，吸尘气腔上分别开设有相互连通的吸尘风口和除尘风口，吸尘风口位于硅橡胶压条的上端。

所述横切机随动机构上设置有固定汽缸立柱，固定汽缸立柱上设置有固定汽缸滑块，汽缸的底座上设置有与固定汽缸滑块相连的固定板。

所述除尘风口的两侧设置有连接板，吸尘气腔通过连接板与汽缸相连。

本实用新型所述横切机裂片、吸尘机构通过倾斜安装的汽缸驱动设置在吸尘气腔上端的硅橡胶压条从原始工作位运动至裂片/吸尘工作位，硅橡胶压条在裂片/吸尘工作位随动顶压TFT玻璃基板，并顺着TFT玻璃基板上的刀头划线痕迹实现裂片，由于硅橡胶压条的顶压过程对TFT玻璃施加的作用力呈连续分布，克服了现有吸盘架裂片存在的作用力分布不均的问题，因此极大地降低了裂片过程的破片率；本实用新型所述横切机裂片、吸尘机构以吸尘气腔作为抽风除尘机构，并通过开设于硅橡胶压条上侧的吸尘气腔的吸尘风口抽走裂片过程中产生的大量玻璃粉尘，防止高温退火炉在“烟囱效应”作用下抽入玻璃粉尘，避免了TFT玻璃基板表面污染的发生，大幅提高了生产良品率。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图，图1中：1汽缸，2吸尘气腔，3硅橡胶压条，4固定汽缸立柱，5固定汽缸滑块，6固定板，7吸尘风口，8除尘风口，9连接板；

图2是本实用新型所述吸尘气腔的结构示意图；

图3是本实用新型所述吸尘气腔的连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

参见图1以及图2，本实用新型包括设置于横切机随动机构上的倾斜安装的汽缸1以及由汽缸1驱动的吸尘气腔2，吸尘气腔2的上端设置有硅橡胶压条3，吸尘气腔2上分别开设有相互连通的吸尘风口7和除尘风口8，吸尘风口7位于硅橡胶压条3的上端。

参见图3，所述除尘风口8的两侧设置有连接板9，吸尘气腔2通过连接板9与汽缸1相连。

本实用新型具有操作调试简单的优点，适合六代(板幅1500mm×1850mm)以上TFT玻璃基板的大规模生产，驱动裂片机构为倾斜安装的汽缸，该汽缸垂直位置及角度通过调整结构进行调整，调整结构具体如下：所述横切机随动机构上设置有固定汽缸立柱4，固定汽缸立柱4上设置有固定汽缸滑块5，汽缸1的底座上设置有与固定汽缸滑块5相连的固定板6。通过调整固定汽缸滑块5的高低，可以实现汽缸升降位置的调整，通过调整汽缸1底座与固定板6间不同位置处的距离可以调整汽缸的倾斜角度，通过对汽缸上下位置以及倾斜角度的调整可以方便的调整吸尘气腔上硅橡胶压条顶压玻璃的位置及位移量大小，设备调试简单易行。固定汽缸立柱4固定在横切机随动机构上，确保裂片、除尘机构与TFT玻璃基板下拉速度的同步性能。

本实用新型的工作过程如下：连续下拉的TFT玻璃基板被横切机随动跟踪，刀头开始在划线位置划线，然后在装有吸盘架的机器人随动吸附TFT玻璃基板的过程中，硅橡胶压条3在汽缸1驱动下从原始工作位向上向左做复合运动，到达裂片/吸尘工作位后硅橡胶压条3顶压TFT玻璃基板，本实用新型选用耐高温的硅橡胶压条，在刀头划线下方20mm范围内顶压TFT玻璃基板，使TFT玻璃基板顺着划线痕迹被掰裂，实现裂片功能，本实用新型固定在横切机的随动机构上，保证裂片动作与TFT玻璃基板的匀速连续向下输送的动作(下拉动作)同步。硅橡胶压条3固定在吸尘气腔2的架体上，且吸尘气腔2的吸尘风口7开设在硅橡胶压条3的上端，在硅橡胶压条3裂片过程中产生的大量玻璃粉尘由吸尘风口7吸入吸尘气腔2，并沿着吸尘气腔2内部抽吸至除尘风口8处，根据抽风除尘风量以及板幅大小，合理设计开口位置、吸尘风口的大小、吸尘气腔的粗细和除尘风口的大小及数量。