[实用新型]连续性镀膜生产线活动挡板装置

权利要求书

1.一种连续性镀膜生产线活动挡板装置，其特征在于，包括：设置于真空镀膜室壳体内的活动挡板机构和与所述活动挡板机构相连接且一端伸出真空镀膜室壳体外部以便对活动挡板机构进行调节的调节机构，所述活动挡板机构包括与所述调节机构相连接的并在所述调节机构带动下转动的丝杆、螺合于丝杆上而可在丝杆带动下沿丝杆轴向移动的螺母以及与螺母固定连接的挡板。

2.如权利要求1所述的连续性镀膜生产线活动挡板装置，其特征在于，所述螺母为滚珠丝杆螺母。

3.如权利要求1所述的连续性镀膜生产线活动挡板装置，其特征在于，所述挡板为三角形。

4.如权利要求1所述的连续性镀膜生产线活动挡板装置，其特征在于，所述调节机构包括一端与所述丝杆相连接另一端伸出真空镀膜室壳体外部的转轴、对转轴与真空镀膜室壳体相接触处进行密封的轴封、套设于所述转轴上的轴承以及与所述真空镀膜室壳体相连接的用于固定轴承和轴封的固定件。

5.一种真空镀膜设备，其特征在于，在真空镀膜设备的真空镀膜室内部设置有用于调整镀膜厚度的挡板，所述挡板为权利要求1～4中任意一项所述的连续性镀膜生产线活动挡板装置。