[实用新型]蓝宝石单晶长晶炉有效
申请号: | 201120257053.3 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN202226961U | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 庄育丰 | 申请(专利权)人: | 庄育丰 |
主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B15/20;C30B29/20 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 秦士魁 |
地址: | 中国台湾桃园*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 单晶长晶炉 | ||
1.一种蓝宝石单晶长晶炉,其主要包括有一真空炉体,该真空炉体内设有坩埚,坩埚外缘设有加热组件,加热组件外缘设有隔热装置,所述坩埚设有旋动件,旋动件链接外部旋动装置,坩埚上端设有拉起件,拉起件链接外部拉起装置及使拉起件旋转的旋动装置,拉起件下端置有籽晶,该真空炉体具有进气孔及排气孔,并分别连通外部气体供应装置及排气装置,真空炉体外部并具有中央控制装置,分别链接对炉内抽真空的排气装置,链接气体提供炉内气氛气体的供应装置,链接拉起装置及旋动装置控制拉起件的拉升及旋转,链接加热组件电源使加热组件对坩埚加热,及链接旋动装置以控制坩埚的旋转,其特征在于:该真空炉体与隔热装置间设有冷却槽,冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置,冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置。
2.如权利要求1所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该冷却槽间隔设有挡板。
3.如权利要求2所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该挡板为交错设置。
4.如权利要求1或2所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该真空炉体内另设有温度感应装置。
5.如权利要求4所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该温度感应装置为红外线温度计。
6.如权利要求4所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该温度感应装置链接中央控制装置。
7.如权利要求1或2所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该真空炉体上设有窥视窗。
8.如权利要求7所述的蓝宝石单晶长晶炉,其特征在于,该窥视窗连结设有远程显示设备,该远程显示设备链接中央控制装置。
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