[实用新型]一种氮化硅回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及氮化硅回收技术，尤其涉及一种氮化硅回收装置。

背景技术

目前，在多晶硅的生产铸造过程中，一般包括步骤：

步骤A，在石英坩埚表面涂覆涂层。该涂层采用价格昂贵的高纯度氮化硅制造；

步骤B，将多晶硅在坩埚内进行铸锭；

步骤C，多晶硅铸锭完成后，从石英坩埚表面脱离，得到锭状的多晶硅，这个过程称为“脱模”。

上述步骤C中，当多晶硅脱模后，表面涂覆有高纯氮化硅的坩埚被当作废弃物丢弃掉。由于坩埚表面涂覆的氮化硅制造成本高昂，直接丢弃，将造成资源的严重浪费；同时，将表层涂覆有氮化硅的坩埚直接丢弃掉也将对环境造成一定的污染。但是，铸锭后的坩埚含有的杂质较多，将其中的氮化硅直接取出或经过简单的清洗后，应用到具体的生产实践中也并不实际。因此，如何从废弃物中回收纯度较高的氮化硅，降低废弃物对环境的污染，一直是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种氮化硅回收装置，可以从废弃物中回收氮化硅，降低废弃物对环境的污染。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种氮化硅回收装置，包括：

酸洗设备，所述酸洗设备设有用于对包括氮化硅的废弃物进行酸洗处理的酸洗槽；

与所述酸洗设备相连接的，用于对所述酸洗设备进行酸洗处理后得到的氮化硅混合液进行回收处理的固液分离设备。

其中，所述酸洗槽的内表面涂覆有耐酸耐磨层；

所述酸洗槽中设有加速反应器，所述加速反应器包括：搅拌器、加热管、超声波发生器和微波发生器中的任一种或多种。

其中，所述固液分离设备包括：具有滤布的压滤机或具有滤布的离心机，所述滤布的目数为100～2000目。

其中，所述氮化硅回收装置还包括：与所述固液分离设备相连接的，用于将所述固液分离设备回收的氮化硅进行细化处理的分散设备。

其中，所述分散设备包括：球磨机、搅拌超声机和高速分散机中的任一种或多种；

其中，所述球磨机设有球磨室，所述搅拌超声机设有搅拌室，所述高速分散机设有分散室；所述球磨室、搅拌室和分散室的内表面均涂覆有耐磨塑料层。

本实用新型实施例还提供了一种氮化硅回收装置，包括：

碱洗设备，所述碱洗设备设有用于对包括氮化硅的废弃物进行碱洗处理的碱洗槽；

与所述碱洗设备相连接的，用于对所述碱洗设备进行碱洗处理后得到的氮化硅混合液进行回收处理的第一固液分离设备；

与所述第一固液分离设备相连接的酸洗设备，所述酸洗设备设有用于对所述第一固液分离设备输出的氮化硅进行酸洗处理的酸洗槽；

与所述酸洗设备相连接的，用于对所述酸洗设备进行酸洗处理后得到的氮化硅混合液进行回收处理的第二固液分离设备。

其中，所述碱洗槽的内表面涂覆有耐碱耐磨层，所述酸洗槽的内表面涂覆有耐酸耐磨层；

所述碱洗槽和酸洗槽中均设有加速反应器，所述加速反应器包括：搅拌器、加热管、超声波发生器和微波发生器中的任一种或多种。

其中，所述第一固液分离设备和第二固液分离设备均包括：具有滤布的压滤机或具有滤布的离心机，所述滤布的目数为100～2000目。

其中，所述氮化硅回收装置还包括：与所述第二固液分离设备相连接的，用于将所述第二固液分离设备回收的氮化硅进行细化处理的分散设备。

其中，所述分散设备包括：球磨机、搅拌超声机和高速分散机中的任一种或多种；

其中，所述球磨机设有球磨室，所述搅拌超声机设有搅拌室，所述高速分散机设有分散室；且所述球磨室、搅拌室和分散室的内表面均涂覆有耐磨塑料层。

实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：

本实用新型实施例采用酸洗设备对包括氮化硅的废弃物进行酸洗处理，以溶解废弃物中的杂质，得到氮化硅混合液；采用固液分离设备将氮化硅从氮化硅混合液中分离出来，实现回收废弃物中氮化硅的目的。由于废弃物中的氮化硅被回收，实现了氮化硅的重新利用，从而节约了资源；另外，还避免了废弃物被直接丢弃，降低了废弃物对环境的污染。

附图说明