[实用新型]柔性超声引线键合夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超声引线键合夹具，尤其涉及一种柔性超声引线键合夹具。

背景技术

在MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统)超声引线设备中，夹具性能的好坏对引线键合的效率具有显著的影响。目前的夹具一般都是针对某种固定器件而设计的，单次只能加持一个器件，通用性和效率都相对较差。随着MEMS器件小批量、多样化、高效率生产的出现，这种专用性夹具越来越不能满足应用的需求。对不同器件的快速转换和加持，满足不同形状和尺寸的加持需求，已成为当前MEMS超声引线键合作业急需解决的问题。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种柔性超声引线键合夹具，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种柔性超声引线键合夹具，该柔性超声引线键合夹具具有调节简单、适应性强、操作方便等特点，可对规模化生产的圆、方等不同形状和尺寸器件实现柔性加持。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种柔性超声引线键合夹具，用以加持器件，所述柔性超声引线键合夹具包括锁紧机构、底座框架、加热炉体以及夹紧微调机构，所述锁紧机构、加热炉体以及夹紧微调机构与底座框架连接形成整体夹具结构，所述锁紧机构和夹紧微调机构可相对移动，所述锁紧机构包括夹紧平板，所述夹紧微调机构包括若干V型爪，所述夹紧平板与V型爪共同加持器件，所述若干V型爪可分别加持不同形状与尺寸的器件，所述V型爪上设有可调节V型爪夹紧力的螺纹连接件。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述夹紧微调机构还包括支撑板以及连接支撑板与底座框架的调整螺杆，所述调整螺杆能旋转并带动夹紧微调机构相对底座框架移动。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述锁紧机构可动且还包括锁紧导向块以及与锁紧导向块相连的锁紧推杆，所述夹紧平板与锁紧导向块连接，所述锁紧推杆可旋转并带动夹紧平板改变运动行程与夹紧力。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述锁紧机构还包括与锁紧推杆相连的锁紧推板以及可与锁紧推板抵压的锁紧手柄，所述锁紧手柄包括两个极限运动位置，该两个极限运动位置分别是松开位置与夹紧位置，所述锁紧手柄能在该两个位置变换并带动夹紧平板松开或夹紧。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述锁紧机构还包括与底座框架连接的调整推杆、与底座框架连接的调整螺钉以及与调整螺钉连接的调整板，所述调整螺钉能旋转并带动锁紧机构相对底座框架移动。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述加热炉体放置在锁紧机构与夹紧微调机构的中心线上。

优选的，在上述柔性超声引线键合夹具中，所述加热炉体包括加热管、传感器、炉体以及随行定位块，所述器件设于定位块上，所述随行定位块能根据不同形状的器件进行改变。

从上述技术方案可以看出，本实用新型实施例的柔性超声引线键合夹具通过设置若干可调节夹紧力的V型爪，使得柔性超声引线键合夹具可以加持不同形状与尺寸的器件，调节简单且适应性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型柔性超声引线键合夹具的示意图；

图2是本实用新型柔性超声引线键合夹具中锁紧机构的示意图；

图3是本实用新型柔性超声引线键合夹具中加热炉体的示意图；

图4是本实用新型柔性超声引线键合夹具中夹紧微调机构的示意图。

1、锁紧机构11、锁紧导向块12、锁紧推杆13、锁紧推板14、锁紧手柄15、调整推杆16、调整螺钉17、调整板18、夹紧平板2、底座框架3、加热炉体31、炉体32、随行定位块4、夹紧微调机构41、V型爪42、槽板43、微调导杆44、盖板45、支撑板46、调整螺杆

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。