[实用新型]配置有可充气支撑件模块的前开式晶圆盒

权利要求书

1.一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁及相邻该对侧壁的一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对该开口的另一侧边形成一后壁，同时于该对侧壁上各配置一支撑件模块以容置多个晶圆，并于该对侧壁与该后壁相邻处各配置一可充气支撑件模块，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其的特征在于：该前开式晶圆盒：

该盒体的该对侧壁与该后壁相邻之处，各配置一可充气支撑件模块，该可充气支撑件模块的面对该开口方向上配置有一长缝，且于该长缝中配置有一多孔性材质材料，且该可充气支撑件模块的一端配置一进气口与该底面的一气阀连接，其中该可充气支撑件模块由多个垂直间隔排列的支撑肋所组成。

2.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，该多孔性材质材料为一陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，该长缝由多个隔板垂直间隔成多个出气口，所喷出气体由下列群组中择一或组合而成：惰性气体、干燥冷空气及氮气。

4.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，该长缝的形状为由下到上逐渐变大。

5.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，进一步于该长缝纵向延伸形成多个横缝，且该些横缝间具有一间距。

6.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，该多个垂直间隔排列的支撑肋之间进一步配置有出气孔。

7.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒，其特征在于，该可充气支撑件模块是一体成型的结构。

8.一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁及相邻该对侧壁的一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对该开口的另一侧边形成一后壁，同时于该对侧壁上配置一对支撑件模块，以容置多个晶圆；以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其特征在于，该前开式晶圆盒：

该盒体的该对侧壁与该后壁相邻之处，各配置至少一可充气支撑件模块，该可充气支撑件模块的一端配置一进气口并与该底面的一气阀连接，而该可充气支撑件模块由一第一部分及一第二部分组成且该第一部分及该第二部分相邻处形成一长缝，且于该长缝中配置有一多孔性材质材料，其中该可充气支撑件模块的该第一部分及该第二部分各配置有多个垂直间隔排列的支撑肋。

9.一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁及相邻该对侧壁的一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对该开口的另一侧边形成一后壁，同时于该对侧壁上配置一对支撑件模块，以容置多个晶圆；以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其特征在于，该前开式晶圆盒：

该盒体的该对侧壁与该后壁相邻之处，各配置至少一可充气支撑件模块，该可充气支撑件模块的一端配置一进气口并与该底面的一气阀连接，而该可充气支撑件模块由一第一部分及一第二部分组成且该第一部分及该第二部分相邻处形成一长缝，且于该长缝中配置有一多孔性材质材料，其中该可充气支撑件模块的该第一部分配置有多个垂直间隔排列的支撑肋，而该第二部分配置有多个垂直间隔排列的限制件。

10.一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁及相邻该对侧壁的一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对该开口的另一侧边形成一后壁，同时于该对侧壁上配置一对支撑件模块，以容置多个晶圆；以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其特征在于，该前开式晶圆盒：

该盒体的该对侧壁与该后壁相邻之处，各配置至少一可充气支撑件模块，该可充气支撑件模块包括一主体，该主体的一端配置一进气口并与该底面的一气阀连接，同时该可充气支撑件模块具有一排多个垂直间隔排列的支撑肋及一排多个垂直间隔排列的限制件，使该多个支撑肋及该多个限制件与该对侧壁上的该些支撑件模块共同支撑该多个晶圆，其中在该多个支撑肋及该多个限制件之间有至少一长缝，且于该长缝中配置有一多孔性材质材料。