[实用新型]精密纳米压痕测试装置

权利要求书

1.一种精密纳米压痕测试装置，其特征在于：包括精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号的检测单元；所述精密压入驱动单元包括音圈电机（14）、连接件（13）、连接板（1）、导轨（7）及滑块（8），该音圈电机（14）、导轨（7）分别固定在底座（6）上，连接件（13）与音圈电机（14）相连接，该连接件（13）通过螺栓与连接板（1）相连接，连接板（1）连接在滑块（8）上，该滑块（8）与导轨（7）滑动连接；

所述载荷信号检测单元包括金刚石压头（2）、载物台（3）、精密力学传感器（4）及侧板Ⅰ（5），该精密力学传感器（4）通过侧板Ⅰ（5）固定在底座（6）上，载物台（3）与精密力学传感器（4）连接，金刚石压头（2）固定在连接板（1）上；

所述位移信号检测单元包括侧板Ⅱ（11）及光栅传感器的光栅尺（12）和读数头（10），该读数头（10）通过螺栓与侧板Ⅱ（11）连接，该侧板Ⅱ（11）固定在底座（6）上；光栅尺（12）通过连接片（9）与连接件（13）粘接。

2.根据权利要求1所述的精密纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的侧板Ⅱ（11）结构为L型。

3.根据权利要求1或2所述的精密纳米压痕测试装置，其特征在于：所述精密纳米压痕测试装置的材质为铝合金。