[实用新型]单晶炉的观察单晶棒生长装置有效
申请号: | 201120264730.4 | 申请日: | 2011-07-25 |
公开(公告)号: | CN202187076U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 林游辉 | 申请(专利权)人: | 合肥景坤新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方琦 |
地址: | 231600 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 观察 单晶棒 生长 装置 | ||
【权利要求书】:
1.单晶炉的观察单晶棒生长装置,在副炉的侧壁上开有观察孔,其特征在于:所述观察孔上铰接有观察窗,观察窗上带有透明玻璃,副炉的侧壁上设有直径传感器,直径传感器外连接有控制装置。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的观察单晶棒生长装置,其特征在于:所述的观察窗与副炉外壁之间设有密封垫。
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