[实用新型]硅片运载装置有效
| 申请号： | 201120264752.0 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202163829U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘琴 | 申请（专利权）人： | 浙江思博恩新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G21/22 | 分类号： | B65G21/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 314117 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 运载 装置 | ||
1.一种硅片运载装置，其特征在于，包括：设置有轨道的支撑架(1)，所述轨道(12)上设置有轮槽(121)；和
位于所述支撑架(1)上，且设置有与所述轮槽(121)滚动配合的硅胶滚轮(22)的承载小车。
2.根据权利要求1所述的硅片运载装置，其特征在于，所述承载小车包括移动架(2)和位于所述移动架(2)上的承载板(3)，所述硅胶滚轮(22)通过滚轮安装板(24)设置在所述移动架(2)的侧架(21)上。
3.根据权利要求2所述的硅片运载装置，其特征在于，所述支撑架(1)上至少设置有两组所述轨道。
4.根据权利要求2或者3所述的硅片运载装置，其特征在于，还包括设置在所述轨道(12)上限制所述滚轮安装板(24)侧向偏移的侧限位块(14)。
5.根据权利要求4所述的硅片运载装置，其特征在于，所述侧限位块(14)的纵截面形状为L形，所述轨道(12)的侧面设置有与所述侧限位块(14)的底端配合的安装槽。
6.根据权利要求5所述的硅片运载装置，其特征在于，所述侧限位块(14)的底端嵌设在所述安装槽中。
7.根据权利要求2或者3所述的硅片运载装置，其特征在于，还包括设置在所述轨道(12)的两个终端的端限位块(13)。
8.根据权利要求7所述的硅片运载装置，其特征在于，所述端限位块(13)与所述移动架(2)相对的一侧设置有缓冲橡胶块或者缓冲弹簧。
9.根据权利要求8所述的硅片运载装置，其特征在于，还包括分别设置在所述移动架(2)两端的两个把手(23)。
10.根据权利要求9所述的硅片运载装置，其特征在于，所述支撑架(1)、移动架(2)均由多条铝型材组装而成。
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