[实用新型]单晶炉的保温套有效

专利信息
申请号: 201120264818.6 申请日: 2011-07-25
公开(公告)号: CN202187077U 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 林游辉 申请(专利权)人: 合肥景坤新能源有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 方琦
地址: 231600 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 保温
【说明书】:

技术领域

    本实用新型涉及利用多晶提拉出单晶硅领域,具体属于单晶炉的保温套。

背景技术

目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,晶体生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶,人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉的保温套,结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。

本实用新型的技术方案如下:

单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器外的石墨隔热套,所述石墨隔热套外套装有多个竖向叠放的保温套,所述的石墨隔热套与石墨加热器的外壁之间具有间隙,各个保温套是有多个相互套装的保温体构成。

所述的保温体是由相互绕制的保温纸构成。

本实用新型的结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

参见附图,单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器1外的石墨隔热套2,石墨隔热套2外套装有多个竖向叠放的保温套3,石墨隔热套2与石墨加热器1的外壁之间具有间隙4,各个保温套是有多个相互套装的保温体5构成,保温体5是由相互绕制的保温纸构成。

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