[实用新型]单晶炉的保温套有效
申请号: | 201120264818.6 | 申请日: | 2011-07-25 |
公开(公告)号: | CN202187077U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 林游辉 | 申请(专利权)人: | 合肥景坤新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方琦 |
地址: | 231600 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 保温 | ||
技术领域
本实用新型涉及利用多晶提拉出单晶硅领域,具体属于单晶炉的保温套。
背景技术
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,晶体生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶,人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种单晶炉的保温套,结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。
本实用新型的技术方案如下:
单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器外的石墨隔热套,所述石墨隔热套外套装有多个竖向叠放的保温套,所述的石墨隔热套与石墨加热器的外壁之间具有间隙,各个保温套是有多个相互套装的保温体构成。
所述的保温体是由相互绕制的保温纸构成。
本实用新型的结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见附图,单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器1外的石墨隔热套2,石墨隔热套2外套装有多个竖向叠放的保温套3,石墨隔热套2与石墨加热器1的外壁之间具有间隙4,各个保温套是有多个相互套装的保温体5构成,保温体5是由相互绕制的保温纸构成。
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