[实用新型]全自动太阳能硅片扩散前清洗设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备。 

背景技术

扩散是晶体硅太阳电池工艺生产中核心的工艺流程，而扩散工艺中形成p-n结的质量直接关系到太阳能电池的转换效率。在太阳能电池工艺生产中，为了去除表面油污及金属杂质，提高扩散前硅片的洁净度，从而提高p-n结的质量，在扩散工艺前设置酸洗工艺流程。 

对普通的太阳能电池片工艺生产，现有扩散前清洗设备基本可以满足工艺对洁净度等的要求；但随着太阳能电池生产工艺，如应用Innovalight公司的Cougar平台，即利用硅墨水套印生产选择型发射极太阳能电池的生产工艺，对工艺流程中的洁净度要求越来越高，普通的清洗设备不能满工艺对扩散前清洗洁净度、特别是避免金属离子污染的要求。 

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构合理，能够满足单晶选择性发射极太阳能电池工艺中洁净度要求，尽量避免金属离子污染及减少潜在污染源，减少二次污染，从而提高太阳能电池的光电转换效率，以及提高生产效率的全自动太阳能硅片扩散前清洗设备。 

本实用新型的技术解决方案是： 

一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，其特征是：上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。

单臂移载式机械手呈与硅片花篮两端挡板上缺口挂合的形式。 

微机控制系统、触摸屏采用悬挂式安装在上料台旁。 

本实用新型结构合理，在清洗设备的酸洗（HF）工序前增加DI Water溢流预清洗，以提高酸洗工序前硅片的表面洁净度，提高酸洗的清洗效果。 

采用无需花篮托的机械手，机械手整体及挂钩采用非金属材质。现有光伏行业清洗设备的机械手均采用需花篮托的机械手，花篮托采用金属材质外包pp材质，在长时间的冷热变换及腐蚀下会造成pp包覆层开裂，从而在工艺流程中造成金属离子污染；采用无需花篮托的机械手则减少了这种潜在的污染源。设备中机械手也采用进口非金属材质，避免了与酸液接触带来腐蚀的问题；同时，减去传统清洗机所需的花篮托，大大较少慢提拉工序中去除硅片上附着水珠的时间及提高烘干硅片所需的节拍。 

在酸洗及DI Water溢流清洗之后，采用热DI Water慢提拉及循环热风烘干取代传统清洗设备中的甩干工序，降低了干燥电池片工序带来的污染及避免了二次污染。 

采用在线加热方式，采用整体构造（外包覆不锈钢材质）和供水管路均为非金属材质的热水发生器（TYTAN）。避免了现有清洗设备DI Water热慢提拉工序带来金属离子污染的问题；将工序热水温度提高到65^oC，减少慢提拉工序的节拍，提高生产效率；大功率在线热水器，能够保证24h供应符合工艺要求的热水，从而减少传统投入式加热方式的等待时间，提高生产效率和产量。 

采用循环热风烘干系统，与传统的甩干方式相比，避免了二次污染、提高了工艺流程中的洁净度；烘干系统中，在大功率加热器的进风口及出风口均安装功效过滤器，提高热风烘干工序中循环热风的洁净度，从而提高工艺洁净度和电池片的转换效率。 

在酸洗槽后段设置DI Water喷水头及吹风头，清除机械手挂钩上的酸液，从而减少机械手及挂钩上的酸液。 

整体设备采用密封结构，减少酸雾对操作人员的影响。在每个槽体的一边采用左、右推拉式的推拉门，及避免了传统设备采用外拉式窗口对空间带来的浪费及可能造成的意外情况，以及避免了上、下结构用气推拉的窗口压缩气体可能带来的潜在危险。 

触摸屏采用悬挂式安装在自动上料台旁，节省操作空间、并便于操作人员操作。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 

图1是本实用新型一个实施例的结构示意图。 

具体实施方式