[实用新型]菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置无效
| 申请号： | 201120265227.0 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202105819U | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 周罗洪;李义;王达山 | 申请（专利权）人： | 营口晶晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 115007 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 菜花 表面 氧化物 多晶 原料 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置，包括酸洗池、溢流池(1)和超声波溢流清洗池(2)，其特征在于：所述的溢流池(1)由至少一个隔板(11)依次分隔成至少两个水池，每个水池的底部具有排水口(12)，相邻的两个水池之间的隔板(11)的上沿具有溢流开口(13)；
所述的超声波清洗池(2)包括清洗水池和设置在清洗水池内的超声波发生器(21)，清洗水池内装有清洗液并具有循环补水装置，所述的超声波发生器(21)设置在清洗水池的两相对的侧壁(22)和底部(23)，还具有对清洗液加热的加热装置(24)。
2.如权利要求1所述的菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置其特征是：所述的溢流池(1)为由两个隔板(11)依次分隔成的三个水池。
3.如权利要求2所述的菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置其特征是：所述的两个隔板(11)上的溢流开口(13)高度不同。
4.如权利要求1所述的菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置其特征是：所述的加热装置(24)为由温控开关控制启闭的加热管。
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