[实用新型]离子注入机的分析器有效
| 申请号： | 201120265256.7 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202142496U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 许飞;陈立峰;邢猛;汪东;史旭 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 分析器 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，其特征在于：所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。
2.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述活动丝杆通过一活动真空轴承安装在离子筛选管的侧壁上。
3.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。
4.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述沟槽的深度为2-5厘米，沟槽宽度为3-5厘米。
5.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述驱动机构为步进电机。
6.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述伸缩刷子由耐高温、柔韧性好的高分子材料制成。
7.根据权利要求6所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述高分子材料为塑料或橡胶或纤维。
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