[实用新型]防倒流装置及排气装置有效
申请号: | 201120265403.0 | 申请日: | 2011-07-25 |
公开(公告)号: | CN202144891U | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 许亮 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F16K15/04 | 分类号: | F16K15/04;H01L21/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒流 装置 排气装置 | ||
1.一种防倒流装置,设于泵和反应腔之间的连接管内,其特征在于,所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀,所述若干单向阀设置于所述阀座体上。
2.根据权利要求1所述的防倒流装置,其特征在于,每个单向阀包括阀球和阀孔,所述阀孔设置于所述阀座体,所述阀孔是孔径由大至小渐变的通孔,所述阀孔的大开口端设有一镂空挡板,所述阀孔的大开口端和小开口端分别与所述泵和所述反应腔相对,所述阀球位于所述阀孔内,所述阀球的直径小于所述阀孔的小开口端的内径。
3.根据权利要求2所述的防倒流装置,其特征在于,所述连接管横向设置,所述阀孔横向设置。
4.根据权利要求2所述的防倒流装置,其特征在于,所述连接管竖向设置,所述阀孔竖向设置。
5.根据权利要求1所述的防倒流装置,其特征在于,所述镂空挡板是一圆形板,所述圆形板上开有一中心孔和若干通气孔,所述若干通气孔环绕设置于所述中心孔的四周,所述中心孔的直径小于所述阀球的直径。
6.根据权利要求1所述的防倒流装置,其特征在于,所述连接管包括第一连接分管和第二连接分管,所述第一连接分管和第二连接分管的相对端分别设有第一法兰和第二法兰,所述第一连接管和第二连接管的另一端分别与泵或反应腔连接。
7.根据权利要求6所述的防倒流装置,其特征在于,所述防倒流装置还包括若干螺栓组件,所述阀座体的周向设有向外凸出的凸部,所述凸部上均匀设置有若干螺钉孔,所述凸部设于所述第一法兰和第二法兰之间,所述阀座体的一部分位于所述第一连接分管内,所述阀座体的另一部分位于所述第二连接分管内,所述第一法兰、所述凸部和第二法兰经所述若干螺栓组件连接。
8.根据权利要求1所述的防倒流装置,其特征在于,所述若干单向阀均匀设置于所述阀座体上。
9.一种排气装置,用于对反应腔进行排气,包括泵和连接管,所述泵通过连接管和所述反应腔连接,其特征在于,还包括如权利要求1-8中任意一项所述的防倒流装置,所述防倒流装置设于所述连接管内。
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