[实用新型]膜厚检测探头结构有效
| 申请号： | 201120265430.8 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN202229742U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李正贤;丁天祥 | 申请（专利权）人： | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 探头 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜厚检测探头结构，包括一工作台，其特征在于，所述工作台的正上方设有一垂直设置的超声波探头。
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述工作台分为上层和下层，所述上层面积小于所述下层面积。
3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括一平台，所述工作台水平置于所述平台上。
4.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括支架，所述超声波探头固定在所述支架上。
5.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述上层与所述下层均为厚度较薄的矩形台。
6.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，所述支架与所述平台的材料均为大理石。
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