[实用新型]气浮扫描工作台有效
| 申请号： | 201120265446.9 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN202221300U | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李正贤;丁天祥 | 申请（专利权）人： | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 工作台 | ||
【权利要求书】：
1.一种气浮扫描工作台，包括大理石，其特征在于：
承片台，固定在所述大理石上；
平面双刚性气浮轴承，设置在所述承片台底部；
第一滑轨，设置砸所述大理石上，位于所述承片台的一侧；
第一平行簧片，一端连接所述平面双刚性气浮轴承，一端连接所述第一滑轨。
2.根据权利要求1所述的扫描工作台，其特征在于：
第二滑轨，设置砸所述大理石上，位于所述承片台设置有第一滑轨的另一侧；
第二平行簧片，一端连接所述平面双刚性气浮轴承，一端连接所述第二滑轨。
3.根据权利要求1或2所述的扫描工作台，其特征在于，所述大理石为方形。
4.根据权利要求3所述的扫描工作台，其特征在于，所述承片台上设置有吸盘。
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