[实用新型]6片盒分体传输结构有效
申请号: | 201120265452.4 | 申请日: | 2011-07-26 |
公开(公告)号: | CN202230986U | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 李正贤;丁天祥 | 申请(专利权)人: | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/677 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分体 传输 结构 | ||
1.一种6片盒分体传输结构,包括机架,其特征在于:
扫描工作台,设置在所述机架的一端,所述扫描工作台上设置有承片台;
导轨平台,设置在所述机架的另一端;
上片机械手,位于所述导轨平台靠近所述扫描工作台的一侧;
6个片盒升降单元,环绕地设置在所述导轨平台没有设置上片机械手的侧边;
取片机械手,设置在所述导轨平台上;
根据权利要求1所述的传输结构,其特征在于,所述导轨平台中包括第一向导轨,所述第一向导轨上设置有与第一向导轨垂直的第二向导轨,所述取片机械手安装在所述第二向导轨的顶端。
2.根据权利要求2所述的传输结构,其特征在于,4个片盒升降单元呈单列沿第一向排布设置在所述导轨平台远离所述扫描工作台的一侧,所述上片机械手、所述导轨平台和所述4个片盒升降单元外套有一透明罩体,所述透明罩体外的机架上设置有2个片盒升降单元,所述位于透明罩体外的2个片盒升降单元分别安装在所述导轨平台沿第一向的两端。
3.根据权利要求2所述的传输结构,其特征在于,所述扫描工作台安装在一大理石平台上,所述大理石平台底部嵌在所述机架上。
4.根据权利要求2所述的传输结构,其特征在于,所述扫描工作台上设置有滑轨,所述滑轨上连接有检测单元。
5.根据权利要求2所述的传输结构,其特征在于,所述片盒升降单元片包括:
片架升降电机,设置在所述机架里;
片架升降丝杠,底端连接所述片架升降电机,顶端竖直;
片盒,其底端竖直方向上设置有螺纹,连接所述片架升降丝杠。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造