[实用新型]一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于六氟化硫(SF₆)气体分解产物净化处理系统。

背景技术

当前的SF₆气体分解产物净化处理方法主要有碱洗法、深度冷凝法、吸附法等。

碱洗法是利用碱水溶液来吸收纯化SF₆气体的方法。碱水溶液一般采用NaOH、KOH、NaCO₃、Ca(OH)₂先将粗品的SF₆气体加热至250℃，再通过250℃~400℃装有碳或者矾土的铜管裂解器，用碱水洗涤得到纯净的SF₆气体。碱洗法一般用于生产SF₆气体工艺中的净化程序，在试验室和现场工作中，难以用此方法实现对SF₆气体的净化处理；深度冷凝法是通过冷媒对混合气体进行冷却，使气体状态发生变化后进行分离的方法。由于在特定的压力下SF₆气体的固化温度远远高于空气的固化温度，所以在SF₆气体制备过程中，常常使用深度冷凝法来将SF₆气体的中的其他杂质气体分离出去。标准大气压力下，氮气的固化温度为-209.86℃。此种方法，对操作条件要求过高，一般试验室无法满足此操作条件；吸附法是用固体吸附剂吸附处理废气中有害气体的方法。吸附法能安全、有效地去除SF₆气体中的多种杂质，因此被广泛应用于SF₆气体的净化处理。常用的吸附剂有分子筛、活性氧化铝、硅胶等，分子筛的吸附效果比活性氧化铝、硅胶的吸附效果要好，但其吸附饱和时外观无明显变化，其更换频率不容易确定。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一套装置，满足对试验后的SF₆气体分解产物的净化处理。

具体的技术解决方案如下：

一种用于SF₆气体分解产物净化处理系统，所述包括进气管路、活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5、第二分子筛发生池室6和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5和第二分子筛发生池室6；

所述进气管路上依次串联着控制阀门1和气体过滤装置2；所述输出管路上安装有真空泵7。

所述第一分子筛发生池室内填充着F-03型分子筛。

所述第二分子筛发生池室内填充着5?型分子筛。

本实用新型的积极效果是：该新型SF₆气体分解产物净化处理装置采用混合型净化剂，主要用于SF₆气体分解产物测试仪器的尾气处理，也可以用于SF₆气体回收再生装置使用。将SF₆样品气体通过依次通过装载有F-03型分子筛、5?型分子筛、活性硅胶、活性氧化铝的发生池室，通过SF₆气体净化剂充分接触，达到净化的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

实施例：

参见图1，一种用于SF₆气体分解产物净化处理系统，所述包括进气管路、活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5、第二分子筛发生池室6和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室3、填充着F-03型分子筛的第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5和填充着5?型分子筛的第二分子筛发生池室6；

所述进气管路上依次串联着控制阀门1和气体过滤装置2，用以过滤气体中的机械杂质。所述输出管路上安装有真空泵7，净化后的气体经由真空泵打压输出。

其工作原理是：