[实用新型]直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉有效
| 申请号： | 201120270321.5 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN202148365U | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 戴建俊;王如军;高俊 | 申请（专利权）人： | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉法 单晶硅 制备 具有 二次 投料 装置 单晶炉 | ||
1.一种直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，包括单晶炉体，单晶炉体包括炉筒(1)和与炉筒(1)相配的炉盖(2)，炉筒(1)内具有坩埚(3)，坩埚(3)内放置原料，其特征在于：还具有投料装置，所述的投料装置包括投料桶(4)和升降投料桶(4)的升降装置(5)，炉盖(2)上部与坩埚(3)相对应的位置开有供投料桶(4)进出的加料口(21)和相应的密封盖。
2.如权利要求1所述的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，其特征是：所述的投料桶(4)的底部具有卸料口(41)和相应的卸料板(42)，所述的卸料板(42)上连接连杆(43)并通过连杆(43)的上下运动实现关闭和开启，所述的投料桶(4)的上边沿具有使投料桶(4)支撑在加料口(21)上的支撑架(44)。
3.如权利要求2所述的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，其特征是：所述的卸料板(42)呈锥形，锥形卸料板(42)的锥尖部位固定连接连杆(43)。
4.如权利要求2所述的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，其特征是：所述的卸料板(42)呈平板形，平板形卸料板(42)的中部固定连接连杆(43)。
5.如权利要求2所述的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，其特征是：所述的卸料板(42)呈平板形，平板形卸料板(42)的一端与卸料口(41)铰接，卸料板(42)中部与连杆(43)铰接。
6.如权利要求2所述的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，其特征是：所述的升降装置(5)包括重锤(51)和连接重锤(51)的连接绳(52)，重锤(51)的下端与连杆(43)连接。
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