[实用新型]多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉有效
申请号: | 201120270326.8 | 申请日: | 2011-07-28 |
公开(公告)号: | CN202139059U | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | 周罗洪;孙志兰;葛相麟 | 申请(专利权)人: | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 单晶硅 废料 回用去胶 工艺 专用 退火炉 | ||
1.一种多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征在于:包括炉体(1)及密封装置、设置在炉体(1)上的炉门(2)及启闭压紧装置(3)、设置在炉体(1)内的台车(4)及台车牵引机构(5)、加热元件及固定装置、风冷装置(6)和温度自动控制系统,
所述的炉体(1)内具有炉衬(11),炉体(1)下方具有供台车(4)移动的轨道(12);
所述的炉门(2)通过启闭压紧装置(3)安装在炉体(1)上;
所述的台车(4)包括车架(41)、堆砌在车架(41)上的护衬砌体(42)和放置原料的料盘(43),车架(41)上具有在轨道(12)上移动的轮组(44)和驱动轮组(44)的台车牵引机构(5),护衬砌体(42)通过台车(4)的进入与炉体(1)的炉衬(11)接触密封连接,炉衬(11)、护衬砌体(42)和炉门(2)组成密闭的炉腔;
所述的加热元件包括加热炉丝,加热炉丝通过固定装置安装在炉衬(11)上和台车(4)的料盘(43)下方;
所述的风冷装置(6)包括引风机(61)和管道(62),炉体(1)上具有开孔,开孔内安装与炉腔相通的管道(62),管道(62)连接引风机(61);
所述的温度自动控制系统包括设置在炉体(1)内的测温点和设置在炉体(1)外部的监控设备,监控设备通过测温点采集的数据信息控制加热元件工作。
2.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的炉体(1)内的炉衬(11)为全纤维折叠块镶装结构,炉衬(11)的厚度为240±20mm,所述的台车(4)的车架(41)包括底板和包围在底板四围的侧板,所述的护衬砌体(42)包括底板上混合平铺的硅藻土和轻质砖、在硅藻土和轻质砖上砌筑的耐火层以及侧板周围砌筑的异型砖,耐火层上具有放置加热炉丝的槽,耐火层上放置料盘(43)。
3.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的启闭压紧装置(3)采用电动葫芦(31)升降炉门(2),炉门(2)倾斜设置通过自身重力与炉体(1)压紧密封连接。
4.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的台车牵引机构(5)包括电机、减速器和输出齿轮,电机与减速器传动连接,输出齿轮安装在减速器的输出轴上,车架(41)上的轮组(44)中的一个为主动轮,所述的主动轮上同轴安装有从动齿轮,输出齿轮与从动齿轮传动连接。
5.如权利要求4所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的输出齿轮与从动齿轮通过链条(51)传动连接。
6.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的轨道(12)的行程两端极限处分别设有避免超行程行走的限位开关。
7.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的台车(4)的车架(41)上具有一对与台车(4)上加热炉丝电连接的电极(45),炉体(1)下方具有在台车(4)完全进入炉体(1)内时与车架(41)上的电极(45)接通形成回路的供电电极(13)。
8.如权利要求1所述的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征是:所述的加热炉丝通过瓷螺钉均匀悬挂在炉体(1)中两侧和后侧的炉衬(11)上。
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