[实用新型]节能用单晶炉保温热场有效
申请号: | 201120270328.7 | 申请日: | 2011-07-28 |
公开(公告)号: | CN202164378U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 葛相麟;周帆;周静 | 申请(专利权)人: | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 节能 用单晶炉保 温热 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种节能用单晶炉保温热场。
背景技术
单晶炉热场由热场部件和保温材料构成,研究资料表明一套随机设计的单晶炉热场,加热器功率的50%左右足以维持其长晶条件,其余的能量都消耗在环境中。现有的热场结构中,加热器一般直接通过螺栓固定在炉体的底盘上,有一半左右的热量被底盘和下保温筒吸收,不能得到很好利用,而且底盘也会由于过度受热而影响使用寿命。如果改变热场结构调整保温材料性能,可以使热场的温度梯度合理,减少热量的损失,从而有效降低拉晶时的功率。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了提高单晶炉热场的保温性能,本实用新型提供一种节能用单晶炉保温热场。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种节能用单晶炉保温热场,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒,保温筒内圈设有加热器,加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚,所述的坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托,所述的加热器的底部还安装有反射板,并通过螺栓固定在炉体的底盘上。
为了使得单晶炉的容量更大,所述的加热器的外径与保温筒的内径相配合,所述的坩埚的外径与加热器的内径相配合。
本实用新型的有益效果是,本实用新型的节能用单晶炉保温热场由于在加热器底部增加了反射板,保证加热器的温度不向下散发,增加了底部的保温效果,增强了热场整体的保温性能,安装反射板后的平均拉晶功率由原来的65kw/h降至50~55kw/h,节约热能的消耗,而且由于加热器温度不能直射到底盘上,大大提高了底盘的使用寿命,降低了生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型节能用单晶炉保温热场最优实施例的结构示意。
图中:1、保温筒,2、加热器,3、坩埚,3-1、埚托,4、埚杆,5、反射板。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示,是本实用新型节能用单晶炉保温热场的最优实施例,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒1,保温筒1内圈设有加热器2,加热器2的内腔设有由埚杆4支撑的坩埚3,坩埚3与埚杆4之间安装有贴于坩埚3底面的埚托3-1,加热器2的底部还安装有反射板5,并通过螺栓固定在炉体的底盘上,加热器2的外径与保温筒1的内径相配合,坩埚3的外径与加热器2的内径相配合。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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