[实用新型]嵌入式反应腔

权利要求书

1.一种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体(3)内设有电极盒(4)，所述电极盒(4)包括匀气板(41)和基板(43)，所述匀气板(41)、基板(43)为上下横向设置，所述匀气板(41)和基板(43)之间为电极盒内腔(44)，其特征是：所述电极盒(4)顶部设有进气口(2)，气体自外接输入管路(1)进入进气口(2)，匀气板(41)上设有小孔阵列，气体从进气口(2)通过小孔阵列，在电极盒内腔(44)进行反应，所述基板(43)上设有排气孔阵列，气体通过排气孔阵列后进入腔体(3)，所述腔体(3)顶部设抽真空管路(5)，进入腔体(3)后的气体通过抽真空管路(5)被排出。

2.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述抽真空管路(5)中设调压阀(6)。

3.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述反应腔腔体(3)形状为圆柱形，所述电极盒(4)设于腔体(3)的中央，所述匀气板(41)和基板(43)之间设垂直电极板(42)，通过小孔阵列进入电极盒内腔(44)的气体自上而下沿电极板(42)到达基板(43)，从电极盒(4)出来进入腔体(3)的气体沿腔体(3)内壁自下而上，最后进入抽真空管路(5)。

4.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述外接输入管路(1)为高压软管。

5.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述反应腔腔体(3)内设多个电极盒(4)，所述外接输入管路(1)分多个支路，各支路与对应的电极盒(4)的进气口(2)连接。