[实用新型]一种多晶硅系统用氢压机系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅系统用氢压机系统。

背景技术

多晶硅系统用氢压机系统包括进气系统、氢压机、排气系统。

氢压机的活塞杆在运动的情况下为了避免润滑油和压缩介质的接触，一般是按照油池、气封仓、泄漏仓、压缩气缸这四个独立的腔体设计，活塞杆在这四个腔体中运动。

油池为活塞杆提供润滑油、气封仓是进压缩原料所用气体用的，为了避免油池的油进入压缩气缸、泄漏仓将氮封仓的氮气和压缩汽缸泄漏出来的物料排放出去、压缩气缸的作用是压缩物料。

常用进气系统只有氮气进气管，压缩原料所用气体为氮气，在多晶硅系统中系统含氮量不能太高，系统中氮气含量直接影响多晶硅的质量，因此在多晶硅系统中使用的氢压机对氮含量要求更严格，如果将进氮封仓的氮气关小，降低氮封仓的压力，从压缩气缸泄露出来的三氯氢硅会进入氮封仓，也就有可能进入油池，使润滑油变质，对机器本身产生危害；如果将进氮封仓的氮气开大，提高氮封仓的压力，那么氮气就有可能跟随活塞杆进入压缩气缸，污染整个多晶硅系统。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多晶硅系统用氢压机系统。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种多晶硅系统用氢压机系统，包括进气系统、氢压机、排气系统，所述氢压机包括油池、气封仓、泄漏仓、压缩气缸四个腔体及活塞，油池的右侧连接气封仓、气封仓的右侧连接泄漏仓、泄漏仓的右侧连接压缩气缸，活塞杆在所述四个腔体中运动。

进气系统包括第一管道（12）、第二管道（13）；第一管道（12）上有第一阀门（6）和第二阀门（8）；第二管道（13）上有第三阀门（9）；第一管道（12）靠近第一阀门（6）的一端连接氮气储罐，靠近第二阀门（8）的一端连接气封仓；第二管道（13）在第二阀门（8）与气封仓之间通过三通与第一管道（12）连接，另一端连接氢气储罐；排气系统包括第三管道（15）、第四管道（16）；第三管道（15）上有第四阀门（10）；第四管道（16）上有第五阀门（11）；第四管道（16）的一端连接泄漏仓，另一端连接尾气淋洗系统；第三管道（15）在第五阀门（11）与泄漏仓之间通过三通与第四管道（16）连接，另一端连接检测中心。

本实用新型进一步的改进在于进气系统还包括第五管道（14），第五管道（14）上有第六阀门（7），第五管道（14）在第一阀门（6）与第二阀门（8）之间通过三通与第一管道（12）连接，另一端连接室外排空系统。

系统工作压力为0.2MPa，设计压力为0.6 MPa，密封使用聚四氟乙烯垫片。

系统使用前，先打开第一阀门（6）、第二阀门（8）、第五阀门（11），关闭第六阀门（7）、第三阀门（9）、第四阀门（10），进行氮气置换，用氮气置换系统内的空气，置换20-30min后，打开第四阀门（10），取样检测，当样品含氧量大于10ppm时，继续用氮气置换，直至样品含氧量小于10ppm为检测合格；检测合格后，关闭第一阀门（6）、第二阀门（8）、第四阀门（10），打开第六阀门（7）、第三阀门（9）、第五阀门（11），进行氢气置换，置换40-60min后，打开第四阀门（10），取样检测，当样品含氮量大于1000ppm时，继续用氢气置换，直至样品含氮量小于1000ppm，可以正常开氢压机。

系统检修时，关闭第六阀门（7）、第三阀门（9）、第四阀门（10），打开第一阀门（6）、第二阀门（8）、第五阀门（11），进行氮气置换，1-1.5h以后，打开第四阀门（10），取样检测，当样品含氢量大于500ppm时，继续置换，直至含氢量小于500ppm，可以开仓检修。

第六阀门（7）的作用是，当第一阀门（6）出现故障有氮气泄露时，可以通过第六阀门（7）排出。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

在进气系统中增加进氢气的管道，使用氢气代替原来的氮气压缩原料，避免原料进入油池，也减小了多晶硅系统中进入杂质的可能。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

1为油池，2为气封仓、3为泄漏仓、4为压缩气缸，5为活塞杆，6为第一阀门、7为第六阀门、8为第二阀门、9为第三阀门、10为第四阀门、11为第五阀门， 12为第一管道、13为第二管道、14为第五管道、15第三管道、16为第四管道。

具体实施方式

实施例1：