[实用新型]内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置

权利要求书

1.一种内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置，包括真空灭弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电路，其特征在于：

冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内部，冷阴极真空规管封接在真空灭弧室静端盖板的内侧，与真空灭弧室成为一体，在灭弧室的静端盖板引出测量电极；阴极为两块不锈钢平板并相对放置；中间的是框形阳极，与静端盖板上的阳极引出极连接；外加磁场垂直于电极平面，磁场由钕铁硼永磁体提供，永磁体位于两块平板阳极外侧和规管圆柱形外壳之间的空间。

2.根据权利要求1所述的内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置，其特征在于所述的冷阴极真空规管的外形是圆柱体，它的不锈钢圆柱形外壳钎焊在真空灭弧室的静端盖板上。

3.根据权利要求1所述的内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置，其特征在于所述的封接结构是由封接环和封接瓷片组成，封接瓷片的中心孔与阳极引出极针式封接，封接瓷片既是封接结构件又是阴极阳极之间的电气绝缘件。

4.根据权利要求1所述的内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置，其特征在于所述的框形阳极用钼或不锈钢制成。