[实用新型]谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉

说明书

技术领域：

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉。

背景技术：

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有的单晶炉都会用到传动装置，在硅单晶拉制过程中，传动装置提供坩埚轴升降、籽晶绳升降高低速切换功能，便于单晶硅晶体的结晶。

然而，现有的传动装置都是利用机械式的结构实现的、或者纯电磁式的机构，这些现有的传动装置容易存在执行动作的准确性差、灵敏度不高、结构复杂，在工作过程中易造成晶棒的精度不良现象。

发明内容：

有鉴于此，有必要提供一种执行动作的准确、灵敏且结构简单的谐波差速传动装置。

还有必要提供一种采用谐波差速传动装置的单晶炉。

一种谐波差速传动装置，包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达；传动轴前端通过轴承、小隔圈配合在左壳体上，传动轴后端与谐波减速器连接，传动轴后端设置有轴承收容部，通过轴承与输入轴配合。端盖固定在左壳体上，小隔圈安装在端盖与左壳体之间，如此通过端盖、小隔圈来调节传动轴与左壳体的配合间隙。谐波减速器通过轴承、挡片、大隔圈与左壳体、右壳体配合。大齿轮通过键与安装在右壳体上的大马达连接，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接，大齿轮与右壳体通过轴承配合。输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合。

优选的，端盖与左壳体形成第一收容空间，且端盖上设有通孔，端盖通过螺杆固定方式安装在左壳体上；右壳体与左壳体、中壳体、连接座相对固定，右壳体与左壳体、中壳体、连接座形成第二收容空间，且第二收容空间与第一收容空间连通，连接座上设有通孔；右壳体还与中壳体形成第三收容空间；第一收容空间收容轴承、小隔圈及传动轴，其中，传动轴通过轴承、小隔圈固定在第一收容空间内，传动轴的前端从端盖的通孔穿出，传动轴后端与设置在第二收容空间中的谐波减速器连接，传动轴后端上开设有轴承收容部，轴承设置在轴承收容部，传动轴后端通过轴承与输入轴配合连接；第二收容空间收容谐波减速器、挡片、轴承、输入轴及大隔圈，谐波减速器通过轴承、挡片、大隔圈固定在第二收容空间内，输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合；其中，轴承设置在连接座的通孔内，小马达固定在连接座上，且小马达的转轴穿过连接座的通孔并与输入轴的后端连接；第三收容空间收容大齿轮、轴承及大马达的转轴；大齿轮通过轴承固定在第三收容空间内，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接；大马达固定在右壳体上，且大马达的转轴通过键与大齿轮连接。

一种采用谐波差速传动装置的单晶炉，包括谐波差速传动装置、坩埚机构及籽晶机构。谐波差速传动装置包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达；传动轴的前端通过端盖、轴承、小隔圈配合在左壳体上，传动轴的前端还与坩埚机构及籽晶机构连接，以使坩埚机构、籽晶机构中的坩埚轴及籽晶绳实现高速、低速上升、下降操作。传动轴的后端与谐波减速器连接，传动轴后端设置有轴承收容部，通过轴承与输入轴配合。端盖固定在左壳体上，小隔圈安装在端盖与左壳体之间，如此通过端盖、小隔圈来调节传动轴与左壳体的配合间隙。谐波减速器通过挡片、大隔圈、轴承与左壳体、右壳体配合。大齿轮通过键与安装在右壳体上的大马达连接，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接，大齿轮与右壳体通过轴承配合。输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合。