[实用新型]单晶炉接晶盘自动旋转装置有效
申请号: | 201120278547.X | 申请日: | 2011-08-02 |
公开(公告)号: | CN202175753U | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 蒋剑;吴世海;赵建峰 | 申请(专利权)人: | 西安理工晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710077 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉接晶盘 自动 旋转 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于机械设备技术领域,涉及一种单晶炉接晶盘自动旋转装置。
背景技术
光伏产业是当前最具前景的“朝阳产业”,单晶炉作为光伏产业前工序单晶硅生产的关键设备,为太阳能电池提供优质的硅晶体。单晶炉是机电一体化的高技术电子专用设备,其主要功能和辅助功能齐备,自动化程度越来越高。但是,现有的单晶炉接晶盘旋转多采用人工手动操作,工作效率较低且存在安全隐患。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种单晶炉接晶盘自动旋转装置,解决了现有技术中存在单晶炉接晶盘旋转多采用人工手动操作,工作效率较低且存在安全隐患的问题。
本实用新型所采用的技术方案是,一种单晶炉接晶盘自动旋转装置,包括U型接晶盘,U型接晶盘的底板上设置有缓冲套,缓冲套对应副炉室内径中心线位置设置,在副炉室的两侧分别安装有随动轴安装底板和气缸安装底板;U型接晶盘一边端面与随动端轴套的外端连接,随动端轴套通过法兰轴承套装在随动轴上,随动轴安装在随动轴安装底板上;U型接晶盘另一边端面与气缸端轴套连接,气缸端轴套通过键与回转气缸的输出轴连接,回转气缸与气缸过渡板连接,气缸过渡板与气缸安装底板连接。
本实用新型的有益效果是,采用气动控制装置,实现接晶盘自动旋转动作,实现了自动化操作、消除了安全隐患、生产效率明显提高。
附图说明
图1是本实用新型装置的结构示意图;
图2是本实用新型装置的U型接晶盘在正常位置状态示意图;
图3是本实用新型装置的U型接晶盘在工作位置状态示意图。
图中,1.U型接晶盘、2.随动端轴套、3.法兰轴承、4.压垫、5.随动轴、6.随动轴安装底板、7.副炉室、8.气缸安装底板、9.气缸安装过渡板、10.回转气缸、11.气缸端轴套、12.键、13.缓冲套。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
如图1所示,本实用新型单晶炉接晶盘自动旋转装置的结构是,包括U型接晶盘1,U型接晶盘1的底板上设置有缓冲套13,缓冲套13对应副炉室内径中心线位置设置,在副炉室7的两侧分别安装有随动轴安装底板6和气缸安装底板8;U型接晶盘1一边端面与随动端轴套2的外端连接,随动端轴套2与U型接晶盘1的连接面设置有压垫4,随动端轴套2通过法兰轴承3套装在随动轴5上,随动轴5安装在随动轴安装底板6上;U型接晶盘1另一边端面与气缸端轴套11连接,气缸端轴套11通过键12与回转气缸10的输出轴连接,回转气缸10与气缸过渡板9连接,气缸过渡板9与气缸安装底板8连接。
U型接晶盘1采用合理的去重方案,使U型接晶盘在保证强度的前提下,减轻重量,从而减小了气缸的扭矩要求,在气缸选型时可以选取体积重量更小的气缸,缩小了机构体积,降低了采购成本;另外,由于采用了新型材料的法兰轴承取代传统的轴承,使随动端的尺寸显著的缩小,直接减小了随动端轴套和U型接晶盘的尺寸,又间接降低了气缸的扭矩,极大地减小了生产和采购成本。
本实用新型的工作原理是,U型接晶盘1是在副炉室7从工作位旋出到取晶位的过程中,对晶体万一发生坠落时进行安全保护的重要装置,在U型接晶盘1的对应副炉室内径中心的位置上,通过螺钉安装有聚四氟乙烯材质的缓冲套13,缓冲套13在发生晶体坠落的情况下对晶体进行软缓冲保护;U型接晶盘1一端通过螺栓连接到气缸端轴套11,气缸端轴套11通过键12连接到回转气缸10的输出轴上,通过螺栓连接,气缸过渡板9通过螺栓固定到气缸安装底板8上,气缸安装底板8是与副炉室7焊接成一体的;U型接晶盘1的另一端通过螺栓连接到随动端轴套2上,随动端轴套2通过法兰轴承3能够在随动轴5上做圆周运动,压垫4通过螺钉紧固在随动轴5端面,对法兰轴承3起到限位作用,防止法兰轴承3滑出随动轴5,随动轴5通过螺栓安装在随动轴安装底板6上,随动轴安装底板6是与副炉室7焊接成一体的。通过这样的结构,由控制系统对回转气缸10进行90度的回转控制,从而使U型接晶盘1完成如图2所示的正常位,到图3所示的工作位的90度的角度旋转运动,从而实现U型接晶盘1的自动旋转功能。
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