[实用新型]硅芯炉装料快速对中装置有效
申请号: | 201120278692.8 | 申请日: | 2011-08-02 |
公开(公告)号: | CN202193878U | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 董培讲 | 申请(专利权)人: | 六九硅业有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B13/00;C30B28/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅芯炉 装料 快速 装置 | ||
1.一种硅芯炉装料快速对中装置,包括工作台面(9)、托盘和设置于所述工作台面(9)和所述托盘之间的若干撑板框架(4),其特征在于,还包括:
设置于所述工作台面(9)上的第一自动对中卡具(7);
卡装于所述第一自动对中卡具(7)上的下轴(6),其顶部与坩埚托的底部配合;
设置于所述托盘上的第二自动对中卡具(2);
设置于所述托盘上端的上顶丝(3),其一端与所述第二自动对中卡具(2)相抵;
设置于所述工作台面(9)上端的下顶丝(10),其一端与所述第一自动对中卡具(7)相抵。
2.如权利要求1所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,所述撑板框架(4)为多个,且均匀的分布于所述托盘的外侧。
3.如权利要求2所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,所述撑板框架(4)为三个。
4.如权利要求3所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,所述上顶丝(3)设置于所述撑板框架(4)上;
所述下顶丝(10)与下定位块(8)螺纹配合,所述下定位块(8)设置于所述工作台面(9)上。
5.如权利要求4所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,每个所述撑板框架(4)上分别设有一个所述上顶丝(3),且所述上顶丝(3)和所述下顶丝(10)的数量相等。
6.如权利要求1-5任一项所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,所述第一自动对中卡具(7)和所述第二自动对中卡具(2)均为三爪联动卡盘。
7.如权利要求1-5任一项所述的硅芯炉装料快速对中装置,其特征在于,所述第一自动对中卡具(7)和所述第二自动对中卡具(2)均为圆锥卡瓣自对中装置。
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