[实用新型]氯硅烷负压回收装置有效
| 申请号： | 201120279762.1 | 申请日： | 2011-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN202208646U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张新;王璜;卢涛 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 王睿 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.氯硅烷负压回收装置，其特征在于：该装置包括顺序连接的第一贮罐(4)、负压蒸发器(7)和第二贮罐(11)，该负压蒸发器(7)的输出端与第二贮罐(11)的输入端之间设有抽气机(8)，该抽气机(8)将负压蒸发器(7)中的氯硅烷气体抽入第二贮罐(11)从而使该负压蒸发器(7)内的气压小于第一贮罐(4)内的气压并保持在20KPa的绝对压力值以下。
2.如权利要求1所述的氯硅烷负压回收装置，其特征在于：第一贮罐(4)上安装有搅拌装置(2)。
3.如权利要求1所述的氯硅烷负压回收装置，其特征在于：第一贮罐(4)的顶部排气口上连有冷却器(1)。
4.如权利要求1所述的氯硅烷负压回收装置，其特征在于：负压蒸发器(7)上安装有搅拌装置(6)。
5.如权利要求1所述的氯硅烷负压回收装置，其特征在于：第二贮罐(11)连有氯硅烷液体补液管(10)。
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