[实用新型]DC等离子体系统

权利要求书

1.一种DC等离子体系统(1)，包括连接到等离子体腔室(5)的阴极(K)和阳极(A)的DC电源(2)，其中所述等离子体腔室(5)的所述阳极(A)在等离子体处理期间电浮置，其特征在于，还包括连接在阳极电势与等离子体腔室电势之间的开关(S)。

2.根据权利要求1所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述开关(S)连接在所述DC电源(2)的正输出端(4)或者所述阳极(A)与等离子体腔室电势连接端之间。

3.根据权利要求2所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述开关(S)连接在所述DC电源(2)的正输出端(4)或者所述阳极(A)与连接到保护地(PE)的所述等离子体腔室(5)的壳体之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的DC等离子体系统，其特征在于，第一电容器(C₁)连接在阳极电势与等离子体腔室电势之间。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的DC等离子体系统，其特征在于，还包括用于控制所述开关(S)的控制元件(DSP)，所述控制元件(DSP)基于所述DC等离子体系统(1)的第一和第二监视参数，生成控制信号(U_ctrl)。

6.根据权利要求5所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述控制元件(DSP)基于所述DC电源(2)的输出电压(U_out)和输出电流(I_out)，生成控制信号(U_ctrl)。

7.根据权利要求5所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述控制元件(DSP)包括数字信号处理器。 

8.根据权利要求1至3中任一项所述的DC等离子体系统，其特征在于，还包括与所述开关(S)并联的保护电路(6)。

9.根据权利要求8所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述保护电路(6)包括串联到第二电容器(C₂)的电阻器(R)。

10.根据权利要求9所述的DC等离子体系统，其特征在于，所述保护电路(6)包括与所述电阻器(R)并联设置的二极管(D)。

11.根据权利要求5所述的DC等离子体系统，其特征在于，还包括用于监视第一参数(I_out)的第一监视设备(7)以及定时器(10)，所述第一监视设备(7)和所述定时器(10)均连接到所述开关(S)的所述控制元件(DSP)，并且所述开关(S)保持闭合直到所监视的第一参数(I_out)通过第三设定点(V_ref3)或者在闭合所述开关(S)之后经过预定时间。