[实用新型]循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统

权利要求书

1.一种循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统，包括多台多晶硅铸定炉（1）和气站氩气管路（18），每台多晶硅铸定炉（1）上均设置有质量流量控制器（4）、比例阀（2）和控制系统（3），气站氩气管路（18）分别与每台多晶硅铸定炉（1）的质量流量控制器（4）的输入口连通，在每台多晶硅铸定炉（1）的比例阀（2）的输出口上连接有自带真空泵（5），其特征在于，在每台多晶硅铸定炉（1）的比例阀（2）的输出口上均分别设置有联机抽真空管（6），每个联机抽真空管（6）均与共用的联机真空泵（8）连通，在联机抽真空管（6）上设置有联机抽真空阀（7），联机真空泵（8）的抽出氩气排出管（9）依次通过氩气回收缓冲罐（10）、缓冲阀（11）、增压泵（13）与氩气净化单元（12）连通，氩气净化单元（12）与净化氩气储气罐（14）连通，净化氩气储气罐（14）的输出口通过氩气回用阀（15）与回用氩气总管路（16）连通，在回用氩气总管路（16）与每台多晶硅铸定炉（1）之间均分别设置有回用氩气支管路（19），回用氩气支管路（19）与多晶硅铸定炉（1）上设置的质量流量控制器（4）的输入口连通，在回用氩气支管路（19）上设置有氩气回用支路阀（17）。

2.根据权利要求1所述的一种循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统，其特征在于，在所述的氩气净化单元（12）中设置有非蒸散型锆铝16及吸附过滤单元，经氩气净化单元（12）净化后的每升氩气中所含的粒径大于或等于0.5μm的尘埃的个数小于或等于5颗。

3.根据权利要求1所述的一种循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统，其特征在于，在所述的每台多晶硅铸定炉（1）的自带真空泵（5）的输出接口上并联有第一手动球阀（20）和第二手动球阀（21），第二手动球阀（21）与氩气采集波纹管（23）的一端连接，氩气采集波纹管（23）的另一端连接有第三手动球阀（22）。