[实用新型]大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种大容积等离子化学气相沉积反应腔，特别涉及一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统。

背景技术

非晶硅太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。

现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积反应腔，包括真空腔以及电极盒等主要部件。在制造光伏组件时，反应腔需要在工艺真空与高真空状态切换，需要对反应腔多次抽真空。当反应腔为大容积时，抽真空难度加大，并且抽高真空的分子泵在非真空环境中难以启动到最高转速，延长了抽真空的时间，降低了生产效率，对分子泵本身也造成损害。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题是提供一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，克服现有技术中存在的上述问题。

本实用新型一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，包括反应腔和分子泵，所述分子泵与缓冲腔相连，缓冲腔通过连接管路与所述反应腔相连，并在连接管路上设有开关阀，缓冲腔还与前级真空泵相连。

本实用新型所述分子泵为四个。

本实用新型所述连接管路连接在缓冲腔顶部。

本实用新型所述分子泵与所述缓冲腔的底部相连通。

本实用新型所述前级真空泵为罗茨泵。

通过以上技术方案，本实用新型大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，通过在反应腔与分子泵间加缓冲腔，使缓冲腔处于真空状态，可以使分子泵很快达到最大转速，节省对反应腔进行抽高真空的时间；并且反应腔不需高真空状态只需真空状态时，可以不开启或少开启几个分子泵，减少分子泵的开启次数，延长分子泵的使用寿命。

附图说明

图1本实用新型抽真空系统的具体结构图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，包括反应腔和分子泵2，还包括缓冲腔，所述分子泵2与缓冲腔1相连，缓冲腔1通过连接管路5与反应腔相连，并在连接管路5上设有开关阀4，缓冲腔1还与前级真空泵3相连。首先通过前级真空泵3将缓冲腔抽真空，缓冲腔真空后再开启分子泵，此时分子泵在很短时间内达到最大抽气速度，打开开关阀4对反应腔进行抽真空，本实用新型的抽真空系统满足分子泵的开启条件，节省对反应腔进行抽真空的时间。

上述分子泵2为四个，每个分子泵均与缓冲腔1的底部相连通；连接管路与缓冲腔1的顶部相连通，这样从上往下可以加快气体的流通，也增大抽真空的速度节省抽真空时间。前级真空泵可选用为罗茨泵等前级泵。

在工艺过程中，通过在缓冲腔预抽高真空方式，灵活实现反应腔工艺真空与高真空切换，缩短了工艺时间，并取得良好工艺重复性。缓冲腔顶部通过开关阀与反应腔连接，底部通过分子泵获得高真空，控制开关开启或关闭就可开始或结束对反应腔进行抽真空，很好的缩短了工艺时间。