[实用新型]一种用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置

权利要求书

1.一种用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置，其特征在于：它包括由依次连接的中频电源控制系统、中频电容补偿器和感应加热器组成的中频电加热系统，还包括真空泵系统和用于放置并加热太阳能电池衬底的真空腔室，所述中频电源控制系统产生中频交流电并经电容补偿器输入感应加热器形成谐振槽路，所述感应加热器的周围产生交变磁场；所述真空腔室置于所述的感应加热器的交变磁场内并设有输入反应气体的进气口、以及与所述的真空泵系统的抽气管连通的抽气口。

2.根据权利要求1所述的用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置，其特征在于：所述的中频电源控制系统包括温控器，所述真空腔室的室壁上还设有非接触式温度测量仪，该温度测量仪与中频电源控制系统温控器连接，反馈真空腔室内被加热衬底的温度信息。

3.根据权利要求2所述的用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置，其特征在于：所述非接触式温度测量仪为红外温度测量仪，所述真空腔室的室壁上设有红外监测窗口，所述红外温度测量仪透过红外监测窗口监测真空腔室内被加热衬底的温度。