[实用新型]溅射设备

权利要求书

1.一种溅射设备，包括承载机、中间腔体、换轨腔体及托盘，所述承载机、中间腔体、换轨腔体成顺序设置，中间腔体两端分别与承载机与换轨腔体相连；所述托盘设置于所述承载机、中间腔体和换轨腔体上；所述承载机和换轨腔体的上部均设置有磁导轨，其特征在于，所述承载机、换轨腔体的磁导轨底部与托盘两侧的顶部卡合成固定装置。

2.如权利要求1所述的溅射设备，其特征在于，所述承载机的磁导轨的底部一端设置有卡槽，所述换轨腔体的磁导轨的底部一端设置有卡槽。

3.如权利要求2所述的溅射设备，其特征在于，所述托盘两侧的顶部设置有卡扣，所述卡扣收容于卡槽内，形成卡合固定装置。

4.如权利要求3所述的溅射设备，其特征在于，所述卡槽以固定连接或可拆卸连接的方式安装在磁导轨上。

5.如权利要求3所述的溅射设备，其特征在于，所述卡扣以固定连接或可拆卸连接的方式安装在托盘上。

6.如权利要求3所述的溅射设备，其特征在于，所述托盘完全位于承载机中时，所述承载机的卡槽与托盘右侧的卡扣的位置相对应。

7.如权利要求3所述的溅射设备，其特征在于，所述托盘位于换轨腔体中时，所述换轨腔体的卡槽与托盘左侧的卡扣的位置相对应。

8.如权利要求3所述的溅射设备，其特征在于，所述磁导轨包括横杆，所述横杆上安装有若干组磁条。

9.如权利要求8所述的溅射设备，其特征在于，所述托盘顶部具有磁性部件，所述磁性部件的极性与磁条的极性相反。