[实用新型]一种制备石英坩埚用多孔石墨模具

说明书

技术领域

本实用新型属于坩埚模具技术领域，尤其涉及一种制备石英坩埚用耐高温多孔石墨模具。

背景技术

石英坩埚制造设备是生产石英坩埚的主要设备，而多孔石墨模具又是石英坩埚熔制中最重要的组成部件。

现有技术中的石英坩埚结构使得石英坩埚在制备完成后不易脱模，石英坩埚的真空层厚度达不到要求或厚薄不一，石墨模具的保温性能等结构设计不合理等问题。

发明内容

本实用新型所要解决的问题是提供一种设计合理、产品易脱模、方便实用的制备石英坩埚用多孔石墨模具。

 本实用新型在石墨模具的侧壁及底部钻有均匀分布的抽气小孔，小孔的内侧和外侧具有不同的孔径，内侧的孔径根据所要制备的坩埚的尺寸控制在4～6mm之间，外侧孔径控制在2～3.5mm之间。内侧孔的深度和外侧孔的深度各比例为1:2～2:1，内侧孔中填充有多孔石墨材料。

多孔模具的上部带有突出的隔热台阶，此隔热台阶能够盖住水冷套的上部，降低水冷套的受热程度，延长其使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型生产的制备石英坩埚用耐高温多孔石墨模具剖面示意图。

 附图标记说明：1多孔石墨模具主体；2隔热台阶；3内侧孔；4外侧孔。

具体实施例

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

 如图1所示，一种制备石英坩埚用多孔石墨模具包含隔热台阶和两端具有不同直径的抽气小孔，在内侧小孔内填充有多孔石墨材料。将石墨模具放入水冷套中，在水冷套上部和石墨模具接触部分采用耐高温密封圈，将石墨模具固定在水冷套上。采用多孔石墨材料取代的容易引起石棉肺、胸膜间皮瘤和含有结晶水的传统石棉材料，其具有低导热系数、高气体渗透率、耐高温等优良特性。采用多孔石墨材料可以有效阻止石英砂被吸入真空设备和减少石英砂堵塞小孔现象。

 以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应该包含在本实用新型的保护范围内。