[实用新型]降低多晶硅片翘曲度的装置有效
| 申请号： | 201120294248.5 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN202208778U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 江笠 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 降低 多晶 硅片 曲度 装置 | ||
【权利要求书】：
1.降低多晶硅片翘曲度的装置，包括反应炉管，其特征在于，所述反应炉管底部设置有弥散管，弥散管两端均设置有进口；弥散管管壁上设置有多个通孔；弥散管通过通孔与反应炉管连通。
2.根据权利要求1所述的降低多晶硅片翘曲度的装置，其特征在于，位于反应炉管内的弥散管中间0.3倍管长范围内的通孔密度为其他部分的通孔密度的5-15倍。
3.根据权利要求2所述的降低多晶硅片翘曲度的装置，其特征在于，位于反应炉管内的弥散管上的通孔以位于反应炉管内的弥散管中点为中心对称设置。
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