[实用新型]一种单晶炉用钼籽晶体夹持器有效
申请号: | 201120294356.2 | 申请日: | 2011-08-15 |
公开(公告)号: | CN202272987U | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 赵文普;赵士刚;万翔;王健;付卫红 | 申请(专利权)人: | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人: | 卢洪方 |
地址: | 471003 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用钼 籽晶 夹持 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉的辅助设备,主要提出一种单晶炉用钼籽晶体夹持器。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将各种多晶硅材料熔融,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。
单晶炉的钼籽晶体夹持机构在生产中起着重要作用,主要由钨丝绳1、钼重锤2、钼籽晶体夹持器3、钼籽晶、钼籽晶体4组成,如图1所示。钨丝绳1与钼重锤2的顶部连接,钼重锤2的底部与钼籽晶体夹持器3的顶部螺纹连接,在钼籽晶体夹持器3内具有钼籽晶体4。
目前的钼籽晶体夹持器多数采用整体式结构,如图2所示,所述钼籽晶体夹持器3由两段不同直径的圆柱体构成;其中直径较小的圆柱体位于直径较大圆柱体的上部,且上部圆柱体具有用以与钼重锤螺纹连接的外螺纹;所述直径较大圆柱体的两端具有锥台;在直径较大的圆柱体内具有用于设置钼籽晶体的盲孔,且直径较大的圆柱体上具有定位销孔,用于通过定位销固定钼籽晶体。由于在钼籽晶体的夹持过程经常产生磨损,由于钼籽晶体夹持器为整体式结构,更换时需要把钼籽晶体夹持器全部更换掉,造成浪费,且更换成本较高。
实用新型内容
为解决以上问题,本实用新型的目的是提出一种单晶炉用钼籽晶体夹持器。
本实用新型为完成上述发明任务采用如下技术方案:
一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,所述的钼籽晶体夹持器为组合式结构,由上夹头、下夹头两部分组合构成;所述上夹头为上下两端具有锥台的圆柱体结构,上夹头的上端具有与钼重锤螺纹结合的螺栓Ⅰ,下端具有与下夹头螺纹结合的螺栓Ⅱ;所述下夹头为上下两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头的上端面具有与上夹头上的螺栓Ⅱ螺纹结合的螺纹孔;下夹头具有用于设置钼籽晶体的盲孔,在下夹头下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销。
本实用新型提出的一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,采用上夹头与下夹头两部分螺纹结合构成的组合式结构,在下夹头磨损之后,可将其旋转拧下更换,而上夹头可循环使用,既节省了成本,又提高了钼籽晶体夹持器的使用寿命。
附图说明
图1为现有技术中钼籽晶体夹持机构的结构示意图。
图2为现有技术中钼籽晶体夹持器的结构示意图。
图3为本实用新型的结构示意图。
图中:1、钨丝绳,2、钼重锤,3、钼籽晶体夹持器,4、钼籽晶体, 5、上夹头,6、下夹头,7、螺栓Ⅰ,8、螺栓Ⅱ,9、定位销,10、盲孔。
具体实施方式
结合附图和具体实施例对本实用新型加以说明:
如图3所示,并结合图1,一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,所述的钼籽晶体夹持器由上夹头5、下夹头6两部分组合构成;所述上夹头5为上下两端具有锥台的圆柱体结构,上夹头的上端具有用以与钼重锤2螺纹结合的螺栓Ⅰ7,下端具有与下夹头6螺纹结合的螺栓Ⅱ8;所述的下夹头6为上下两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头的上端面具有与上夹头5上的螺栓Ⅱ8螺纹结合的螺纹孔;下夹头6具有用于设置钼籽晶体4的盲孔10;在下夹头下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销9。
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