[实用新型]一种石英坩埚遮热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种遮热装置，特别是涉及一种在石英坩埚熔制过程中的遮热装置，属于石英坩埚熔制炉部件技术领域。

背景技术

随着大规模集成电路集成度的不断提高，单晶硅也向高纯度发展，从而对其在拉制过程中辅助性容器――石英坩埚的要求也越来越高。

目前的石英坩埚大部分是采用电弧法来熔制，在熔制过程中通过电极放电产生高温电弧来熔化石英砂，电弧焰的高温会对石英坩埚熔制设备的其他部件产生副作用，因此需在电极上方加装遮热装置。

目前的遮热装置采用的内部中空结构，内部通有循环冷却水，金属材质。由于是异形，需切割、焊接，焊接部位近距离长时间暴露在电弧的高温下会导致焊接点软化甚至掉焊，循环水则会漏入正在熔制的坩埚中而照成生产事故。焊接部位和金属遮热装置长期暴露在高温下会不断氧化，在熔制过程中氧化物会掉落正在熔制的坩埚中，从而影响坩埚的品质和使用效果。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供一种石英坩埚遮热装置，缩小金属遮热部件受热面积，采用具有低热膨胀系数、低热导率系数和优良的热稳定性的石英玻璃来代替，装置结构简单，没有氧化物污染，遮热效果好，不漏水。

为了实现上述之目的，本实用新型采取的技术方案是：一种石英坩埚遮热装置，由金属遮热水冷套和石英玻璃遮热板这两个主要部件组成。其中遮热水冷套内部为中空，中间为带有台阶的方形孔。石英玻璃遮热板为方形，大小为可以放于遮热水冷套的带有台阶的方形孔内，石英玻璃遮热板中部为一圆孔。在金属遮热水冷套的同一侧的两边各有一根冷却水管，其中任意一根为进水，另一根为出水。石英玻璃遮热板放置在金属遮热水冷套中间带有台阶的方形孔上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下。

 （1）原有的遮热装置整体为金属材质，长时间暴露在高温下会有生成金属氧化物，积累到一段时间后会掉落在正在熔制的石英坩埚中，影响石英坩埚的品质和使用效果。

（2）避免在连续高温焊接点软化掉落，出现循环水渗漏而造成生产事故。

（3）将部分材质更换为石英玻璃材质，避免由于员工错误操作，将电极与遮热装置接触而造成高压电短路从而损坏遮热装置。

附图说明

附图1是石英坩埚遮热装置主视图。

附图2（A）是金属遮热水冷套的主视图。

附图2（B）是金属遮热水冷套剖视图。

附图2（C）是金属遮热水冷套俯视图。

附图3是石英玻璃遮热板主视图。

附图标记说明：1 金属遮热水冷套台阶；2 冷却水管。

具体实施方式

 下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

如图1、图2（A）（B）（C）、图3所示，一种石英坩埚遮热装置，包括中间为带有台阶方形孔的金属遮热水冷套和中部为一圆孔的石英玻璃遮热板。石英玻璃遮热板放置在金属水冷套中间的方形孔上，石墨电极从石英玻璃中间的圆孔中穿过。冷却水从一根冷却水管中流入，从另一跟冷却水管中流出。本实用新型装置结构简单，没有氧化物污染，遮热效果好，不漏水。

以上所述的实施例，只是本使用新型较优选的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。