[实用新型]一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置有效

专利信息
申请号: 201120299289.3 申请日: 2011-08-16
公开(公告)号: CN202224848U 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 李明;张晓;程光华;杨小君;赵卫 申请(专利权)人: 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/06
代理公司: 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人: 陈翠兰
地址: 351117 福建省莆田*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 pzt 双光楔 激光 加工 倒锥孔 扫描 装置
【权利要求书】:

1.一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(7),其特征在于:在所述激光器(1)出射激光束面上设有一块偏振分光棱镜(2),与偏振分光棱镜(2)反射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台(4),在PZT光学平台(4)与偏振分光棱镜(2)之间以及偏振分光棱镜(2)的下方分别设有四分之一波片(3);偏振分光棱镜(2)的下方间隔四分之一波片(3)依次垂直分布有双光楔(5)、聚焦物镜(6)和工件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,其特征在于:所述PZT光学平台(4)相对于偏振分光棱镜(2)反射后入射激光束成垂直分布,PZT光学平台(4)与计算机(8)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,其特征在于:所述偏振分光棱镜(2)镜面与激光束成倾斜角度设置,镜面的倾斜角度为45°。

4.根据权利要求1所述的一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,其特征在于:所述双光楔(5)为两个光楔相互成平行间隔设置,双光楔(5)通过电机(9)与计算机(8)相连。

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