[实用新型]一种压力敏感芯体

权利要求书

1.一种压力敏感芯体，有固支的平膜片（2），该平膜片（2）包括最大压应变区（3）、最大拉应变区（4）和非应变区（5），在所述最大压应变区（3）、最大拉应变区（4）各设两个应变电阻（6），该四个应变电阻（6）组成惠斯登全桥应变电路，其特征是，所述非应变区（5）设有灵敏度温度补偿铂电阻（8）和引线导电孔（9）。

2.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述非应变区（5）设有与四个应变电阻（6）连接的零点补偿电阻网络（7）。

3.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述平膜片（2）下部开有至少一个应力释放槽（1）。

4.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述平膜片（2）上端面设有绝缘层（10），绝缘层（10）上方设有电阻膜（11），电阻膜（11）上方设有保护膜（12），保护膜（12）上方设有铂电阻与引线导电层（13）。

5.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述平膜片（2）为17-4PH型平膜片。

6.根据权利要求4所述的压力敏感芯体，其特征是，所述绝缘层（10）的为由下至上的Ta₂O₅、SiO₂、Ta₂O₅、SiO₂层。

7.根据权利要求4所述的压力敏感芯体，其特征是，所述电阻膜（11）采用改性NiCr膜，所述保护膜（12）为SiO₂保护膜。

8.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述灵敏度温度补偿电阻（8）和引线导电层（9）均采用离子束溅射Pt薄膜。

9.根据权利要求1所述的压力敏感芯体，其特征是，所述四个应变电阻为阻值相同的合金薄膜栅条电阻。

10.根据权利要求2所述的压力敏感芯体，其特征是，所述零点补偿电阻网络（7）是将多个连接到应变电阻（6）一端的薄膜小电阻组合成的网络（7），每个小电阻串入应变电阻（6）, 所述零点补偿电阻网络（7）采用改性NiCr膜。