[实用新型]多晶硅尾气压缩机防泄漏结构

权利要求书

1.一种多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸(1)、机身(2)，气缸(1)内活塞(3)通过活塞杆(4)与机身(2)内连杆(5)相连，其特征在于：还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸(1)与机身(2)之间，包括气缸侧隔室(6)和机身侧隔室(7)，上述两隔室(6、7)通过隔板(11)分隔，气缸侧隔室(6)与气缸(1)固定连接，机身侧隔室(7)与机身(2)固定连接，其中气缸侧隔室(6)与气缸(1)连接处上穿过活塞杆(4)的位置设有主填料(8)，隔板(11)上穿过活塞杆(4)的位置设有中间填料(9)，机身侧隔室(7)与机身(2)连接处上穿过活塞杆(4)的位置设有挡油器填料(10)，所述主填料(8)、中间填料(9)和挡油器填料(10)均通过填料盒(22)与双隔室中间座固定连接，填料盒(22)上开设有使活塞杆(4)从中穿过的通孔，填料盒(22)一端设有压盖(33)，主填料(8)、中间填料(9)和挡油器填料(10)均通过至少两组浮动密封环(12)与活塞杆(4)动密封。

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述主填料(8)通过至少四组浮动密封环(12)与活塞杆(4)动密封，主填料(8)内设置气室(14)和充气空腔(15)，气室(14)与充气空腔(15)分别位于两组浮动密封环(12)之间，且环绕活塞杆(4)并与活塞杆(4)的外表面相接触，充气空腔(15)设于气室(14)右侧，所述气缸侧隔室(6)上开设有第一排气口(16)和第一高压进气口(17)，气室(14)通过管路与第一排气口(16)相连通，充气空腔(15)通过管路与第一高压进气口(17)相连通。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述第一高压进气口(17)连接0.15-0.2Mpa的氢气进气管道。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述气缸侧隔室(6)或机身侧隔室(7)上开设有第二高压进气口(20)，第二高压进气口(20)与位于中间填料(9)与活塞杆(4)之间且在两组浮动密封环(12)之间的间隙通过管路相连通。

5.根据权利要求4所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述第二高压进气口(20)连接0.15-0.2Mpa的氮气进气管道。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述机身侧隔室(7)上开设有第三高压进气口，第三高压进气口与位于挡油器填料(10)与活塞杆(4)之间且在两组浮动密封环(12)之间的间隙通过管路相连通。

7.根据权利要求6所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述第三高压进气口连接0.15-0.2Mpa的氮气进气管道。

8.根据权利要求6所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述机身侧隔室(7)上开设有吹扫气进气口(18)和第二排气口(19)。

9.根据权利要求8所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于：所述吹扫气进气口(18)连接0.05-0.1Mpa的氮气进气管道，第二排气口(19)与连通至安全区的管线连接。